主题：【求助】日本电子扫描电镜6460LV真空问题

原文由 yijian_zq(yijian_zq) 发表:
不会是泵坏了吧！

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
多说一下真空系统配置。
一般”高档“扫描电镜都配有全量程真空规，即低真空规+高真空规。真空泵和逻辑阀门按照真空规提供的数据指令反应动作，操作者基本上时刻确切知道真空度。这里高档是带引号的，也特指涡轮分子泵真空系统。全量程真空监测，有利于保护比较贵而脆弱的涡轮分子泵万无一失。

油扩散泵比较皮实，单机价格相对低的多，工作原理注定了其真空效率是固定的，往往不需严格保护和测量，高真空规在这里显得多余，还费钱。更重要的是，高真空规一般使用潘宁规，在扩散泵真空系统中容易污染，实际真空度越来越低，但给电器的指令确是已经达到，造成真空检测不准，反而对电镜有害。

也有油扩散泵采用全量程真空规，但这些厂商等到出了问题的时候会告诉你，潘宁规需要1年至少维护一次（用户往往没有维护经验）或者建议用户直接换新的。把真空规当做耗材来卖。

基于以上原因，传统扩散泵真空系统电镜都不配置高真空规，而是采用一级低真空规，低真空达到后启动扩散泵抽高真空，工作真空度是否到达，只需用延时器模拟控制即可。

楼主的电镜一定是真空延时电路了问题。如果工程师过去，可能一刻钟就给你弄好了。

原文由 wgdbaosteel(wgdbaosteel) 发表:
各位大侠，我现在碰到的问题是抽真空时间特别长，pre-evac时间：4分钟，evac时间：19分钟，应该从哪里下手呢。

原文由 yijian_zq(yijian_zq) 发表:
不会是泵坏了吧！

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
多说一下真空系统配置。
一般”高档“扫描电镜都配有全量程真空规，即低真空规+高真空规。真空泵和逻辑阀门按照真空规提供的数据指令反应动作，操作者基本上时刻确切知道真空度。这里高档是带引号的，也特指涡轮分子泵真空系统。全量程真空监测，有利于保护比较贵而脆弱的涡轮分子泵万无一失。

油扩散泵比较皮实，单机价格相对低的多，工作原理注定了其真空效率是固定的，往往不需严格保护和测量，高真空规在这里显得多余，还费钱。更重要的是，高真空规一般使用潘宁规，在扩散泵真空系统中容易污染，实际真空度越来越低，但给电器的指令确是已经达到，造成真空检测不准，反而对电镜有害。

也有油扩散泵采用全量程真空规，但这些厂商等到出了问题的时候会告诉你，潘宁规需要1年至少维护一次（用户往往没有维护经验）或者建议用户直接换新的。把真空规当做耗材来卖。

基于以上原因，传统扩散泵真空系统电镜都不配置高真空规，而是采用一级低真空规，低真空达到后启动扩散泵抽高真空，工作真空度是否到达，只需用延时器模拟控制即可。

楼主的电镜一定是真空延时电路了问题。如果工程师过去，可能一刻钟就给你弄好了。