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主题：【求助】大功率机械泵

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lyjjtx
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发表于：2010/07/14 21:54:04 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问不用扩散泵，直接用大功率机械泵能抽到可工作的真空度吗？
此机械泵可抽到-5 torr
        哪位可以告诉一下，谢谢！
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2010/7/15 9:01:33 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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    但用大功率机械泵抽真空，不靠谱，一般说来，泵的标称极限真空是指不带负载情况下，泵口所能达到的真空度，而且需要较长的工作时间。同时，大功率真空泵估计机械振动肯定小不了，这点是电镜所不能容忍的，还有一点，就是
-5  torr真空度下，处于高压最容易击穿的条件，尽量避免在这个状态下面工作。所以，电镜一般选择机械泵--扩散泵组合，或者直接选用涡轮分子泵达到高真空。
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sem1233
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2010/7/16 9:57:17 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对，大功率效果可能能达到，但同时带来的噪声，振动对测试是致命的
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