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主题：【求助】关于扫描的几个小问题

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dry2014
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发表于：2017/11/06 13:14:45 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
经常用扫描，也用过EPMA，有几个问题想向大家请教一下。
1.大家都说波谱定量比能谱准，为什么？不是有没有标样的问题。
2.能谱定量如果取的区域很大，准确度如何？
3.EPMA拍照太渣，SEM做定量又不准，为啥不把二者结合呢？
4.感觉SEM配衍射的貌似不多，TEM就很多（只是从我们所的几台仪器得到的感觉），为啥？
5.SEM定量是不是比TEM更准一些？
6.都是没有标样的情况下，XRF和EDS比起来，哪个更准一些？
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fengyonghe
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2017/11/6 21:09:49 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1 波谱分辨率高于能谱十几倍；2 扫描区域越大分析结果越接近材质成分，但永不等于；3 SEM也可以配置波谱附件；4 二者衍射分析的原理不同；5 一样；6 前者是宏观结果后者是微观结果，不能比较
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驰奔仪器
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2017/11/9 17:09:16 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
经常用扫描，也用过EPMA，有几个问题想向大家请教一下。
1.大家都说波谱定量比能谱准，为什么？不是有没有标样的问题。
2.能谱定量如果取的区域很大，准确度如何？
3.EPMA拍照太渣，SEM做定量又不准，为啥不把二者结合呢？
4.感觉SEM配衍射的貌似不多，TEM就很多（只是从我们所的几台仪器得到的感觉），为啥？
5.SEM定量是不是比TEM更准一些？
6.都是没有标样的情况下，XRF和EDS比起来，哪个更准一些？
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WD相对ED除了分辨率高以外，主要峰背比更高，灵敏度高。 具体准不准或者误差多大，看校准情况。
EDS分析就是针对微区，选区大小，关键看材料均匀程度。
EMPA和SEM追求不同，使用参变量差别很大，不是想好就能好的。 提高空间分辨率，有场发射EPMA。

SEM配置EBSD听说挺多的， TEM不是配不配的问题，本身就有这功能
SEM和TEM定量（EDS？） 决定于EDS
XRF灵敏度更高，准不准得看你校准的如何
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