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主题：【求助】溅射金膜的分布和哪些因素有关？

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发表于：2018/01/04 09:26:29 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
经常用溅射仪对样品进行喷金导电处理，然后在电镜照片里面看到有的样品上金膜裂纹非常明显，有的样品就只有部分区域能看见金膜裂纹，请教一下为什么会出现这样的情况？溅射上去的金颗粒沉积和哪些因素有关？
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2018/1/4 14:59:24 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
会不会时间短了
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2018/1/6 10:09:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 风云变幻(v3165605) 发表:
会不会时间短了
抱歉我没说清楚，是这样的，同一批喷金的样品，在相同倍数下，有的上面就看到全部都是金膜裂纹，有的就只能在局部看到。
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风云变幻
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2018/1/6 10:42:03 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 m3103769(m3103769) 发表:
抱歉我没说清楚，是这样的，同一批喷金的样品，在相同倍数下，有的上面就看到全部都是金膜裂纹，有的就只能在局部看到。
有照片吗
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2018/1/7 17:01:04 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个问题我们也经常遇到！
我们通过调节溅射电压和溅射电流。
普通溅射仪，Au靶材，溅射电压调节到很低，我们用5mA 240秒，A4纸喷金到浅灰色，100KX看不出裂纹。

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一颗蒲公英
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2018/1/10 15:35:22 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品电子束敏感，电子束轰击下形变，把表面的金膜拉开了；要么，本身就是喷厚了，裂开来了。
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biaoqi
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2018/3/27 11:00:35 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果在所需膜厚相同的情况下，建议低溅射电流（一般不要高于10mA)，溅射时间相应延长。这样喷出的膜相对比较均匀。
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zhangxiaofeng
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2018/5/16 18:39:31 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
涨知识啊，很好的学习地方
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