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第一次听到或者说接触到扫描电镜(SEM)是在大学的时候,记得第一次是陪老师去中山大学做扫描电镜的分析。很清楚地记得当时的收费是500元一个小时,当时我老师只是预约了一个小时,但是做了1个小时样品还是没有分析完,我的老师苦苦请求中大的老师继续再帮忙做一个小时,但是中大老师怎么也不肯答应,说仪器已经用了一天,需要休息。这件事情让我记忆很深,觉得扫描电镜是一个很高大上的东西。后来听说有的师兄也常跑去华南农业大学预约分析扫描电镜,都是提前1个月去月,预约那天都是早上天没亮就得跑去华农预约。这让我再次感觉扫描电镜的高大上。
但是没有想到,毕业之后,我的第一份工作竟然是跟扫描电镜有关,从此与扫描电镜结下了不解之缘。第一次接触到的SEM是日立的S-4200.相信目前很多人会听说或用到S-4800,但是S-4200应该很少听说过了。S-4200是一款很老的冷场扫描电镜,像老款的飞机一样,操作台都有2-3米长。S-4200虽然很老,但是对于一个初学者,能够拥有这么一台仪器是非常幸运的。S-4200不像现在的机器,越来越傻瓜化,它很多操作是偏向于机械化的。学习使用一台很旧的仪器,能更让你明白和理解仪器的原理。对于这台仪器的琢磨,我从操作界面、电路板、样品腔等基本都琢磨过,很多零部件自己都拆过也自己装回来。正是因为这样,自己对SEM的理解也慢慢的深刻了起来。
在后面的工作中,不断接触了很多不同厂家和不同型号的SEM。比如蔡司的Leo-1530、Leo-1550、Leo-1560等、日立的S-4800、还有FEI的等。在使用这些SEM中,会有不同的心得,但是对于每一台仪器都是非常有深厚的感情。这些仪器是我们的利器,因为它们,我们才可以打开更宽阔的视野。使用过程中,也会遇到很多问题,会出现许多磕磕碰碰,但是正是这样,才让我更加深刻地去理解SEM。另外,出现了问题,就得请教SEM的厂商。时间久了,跟很多维护工程司都成了好朋友。这些朋友不仅帮我去维护的SEM, 甚至还帮我去推荐工作。感谢他们,也感谢SEM,让我认识了这么多的同行朋友。
另外,这几年,我也常去参加了SEM/EDS(EDX)的培训。在培训过程中,不断地加深了自己的知识。同时,也认识了很多SEM这方面的老前辈。在最近两年的EDX的培训中,就认识了电子五所的舒敏哲老师和EDX的夏为民博士。他们的知识很渊博,但是为人非常亲切的。特别是舒老师,不仅给我买的书签了名,还给我把书里的错误地方都一一指出来。希望以后可以接触到更多的前辈们,不断地提升自己在SEM方面的知识。