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主题：【求助】SEM中信号检测相关问题

浏览0 回复19 电梯直达
Insm_5225054a
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发表于：2018/07/06 10:34:46 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1.SEM中背散射电子转化成二次电子然后来检测，这种转化原理是什么？例如日立电镜。
2.ExB是日立SEM中用来检测SE而又不影响入射电子束的技术，那Super ExB是什么？有什么不同？
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2018/7/8 5:02:51 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1.二次电子能量与入射电子能量相同，激发任何物体都会产生二次电子
2.Super ExB可以调节图像中二次电子像所占的比例。la100是完全抑制二次电子，看的基本就是背散射，图像没有立体感。la0，是不抑制，二次和背散射都有，图像有立体感。
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Insm_5225054a
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2018/7/8 17:41:06 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:1.二次电子能量与入射电子能量相同，激发任何物体都会产生二次电子2.Super ExB可以调节图像中二次电子像所占的比例。la100是完全抑制二次电子，看的基本就是背散射，图像没有立体感。la0，是不抑制，二次和背散射都有，图像有立体感。
谢谢！按你所述，1，就是背散射电子激发然后行程二次电子，间接去探测背散射电子，为什么不直接探测背散射电子，是因为环形探头的专利原因吗？2.LA是什么的缩写？ExB和SuperExB的结构是一致的吗？SU9000是SuperExB?
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fengyonghe
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2018/7/9 5:52:58 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Insm_5225054a(Insm_5225054a) 发表:
谢谢！按你所述，1，就是背散射电子激发然后行程二次电子，间接去探测背散射电子，为什么不直接探测背散射电子，是因为环形探头的专利原因吗？2.LA是什么的缩写？ExB和SuperExB的结构是一致的吗？SU9000是SuperExB?
据介绍，这样设计的目的是在二次电子中加入背散射电子使图像更加丰富。当设置LA=100时，二次电子被完全抑制，就只有背散射图像。使用更加灵活。
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2018/7/9 8:52:57 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表: 据介绍，这样设计的目的是在二次电子中加入背散射电子使图像更加丰富。当设置LA=100时，二次电子被完全抑制，就只有背散射图像。使用更加灵活。
您说的这种情况是针对uper detector吧？top detector主要是探测HA BSE成份像吧？
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驰奔仪器
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2018/7/10 18:20:33 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
转化探测器主要根据是低能电子具有更高的二次电子产额特殊设计，转化极使用特殊材料还可对背散射电子起到一定放大作用。
这种设计有年头了，不足为奇！
根本原因：半导体对低能背散射电子探测效率低下，使用这个方法很大程度上就解决问题了。
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2018/7/28 22:00:07 Last edit by SH103843
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2018/7/11 9:29:08 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 驰奔仪器(SH103843) 发表:转化探测器主要根据是低能电子具有更高的二次电子差额特殊设计，转化极使用特殊材料还可对背散射电子起到一定放大作用。这种设计有年头了，不足为奇！根本原因：半导体对低能背散射电子探测效率低下，使用这个方法很大程度上就解决问题了。
你好，并非非得转化才能探测低能背散射电子，因为除了半导体背散射探测器，还有闪烁体材质的啊，好多厂商都有在用的！
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2018/7/11 10:54:50 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Insm_5225054a(Insm_5225054a) 发表:
你好，并非非得转化才能探测低能背散射电子，因为除了半导体背散射探测器，还有闪烁体材质的啊，好多厂商都有在用的！


闪烁体需要高压才有好的量子效率，否则没法用。
镜筒内空间太小，
另外高手们都有自己的秘笈，小小的转化膜层，估计就得个博后搞很长时间
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2018/7/11 12:15:15 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 驰奔仪器(SH103843) 发表: 闪烁体需要高压才有好的量子效率，否则没法用。镜筒内空间太小，另外高手们都有自己的秘笈，小小的转化膜层，估计就得个博后搞很长时间
确实如此，但是没清楚你说的什么。转不转化与探头有什么关系？难道他们不是闪烁体材质
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2018/7/11 12:17:13 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Insm_5225054a(Insm_5225054a) 发表:确实如此，但是没清楚你说的什么。转不转化与探头有什么关系？难道他们不是闪烁体材质
我觉得他们转化的目的是便于采集信号，因为他们是侧探头，低能电子便于吸引
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fengyonghe
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2018/7/16 5:49:05 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个探测器的目的就是使用更加方便，同时又兼顾了低能背散射电子                                                                                           
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