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X射线衍射仪（XRD）

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主题：【求助】涂层刀具做XRD，出不来涂层的衍射峰，只有基体的峰

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Insp_62ec3592

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发表于：2018/10/16 11:25:13 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我的涂层刀具，基体是硬质合金，TiAlN涂层，涂层厚度1.5微米，做XRD分析只出来基体WC和Co的峰，没有涂层的峰，请问为什么？我想看涂层的物相分析和择优取向，请问该用什么方式？

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2018/10/18 11:40:05 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

试一试掠入射的光路，最好寻找带有专门薄膜附件的仪器，这个各大品牌都有的，但是你所用的机器不一定会配置这个。
掠入射指的是X光以小角度（比如2deg或者0.5deg）等等入射样品，然后这个角度是固定不动的，而检测器大角度旋转收集衍射信号，选择合适的角度可以做到完全屏蔽基底的信号，这样来自薄膜的信号信噪比会比较好。
测试过程中注意两点：
1. 薄膜本身结晶不一定好，如果第一次做不出来，试一试退火后重新测试；
2. 薄膜薄膜，所以样品量肯定会比较少，扫描速度不要过快，否则小峰基本就拉平不见了。

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iangie

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2018/10/27 18:29:57 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

如果你的TiAlN是晶相, 1.5微米厚是完全可以做出来的. 用Goebel Mirror平行光束, Omega入射角2度, 慢扫肯定能出峰.
问题是你的薄膜是不是完全盖住了基体? 如果在X光的照射面积内只有部分TiAlN薄膜, 那当然X光就直接打到基体上了哦....

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2018/10/29 8:31:09 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 iangie(iangie) 发表:
如果你的TiAlN是晶相, 1.5微米厚是完全可以做出来的. 用Goebel Mirror平行光束, Omega入射角2度, 慢扫肯定能出峰.
问题是你的薄膜是不是完全盖住了基体? 如果在X光的照射面积内只有部分TiAlN薄膜, 那当然X光就直接打到基体上了哦....

请问我如何可以知道薄膜是不是完全盖住了基体？如果没有的话，是不是只能重新制膜了？

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