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主题：【求助】pn结轮廓能用扫描电镜表征吗

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yanglixia
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发表于：2019/11/07 17:59:23 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题，请问pn结轮廓可以用扫描电镜表征吗？或者说，在半绝缘SiC衬底上注入Al，能看出Al的轮廓吗
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2019/11/9 23:06:25 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能性不大。这个主要看注入的剂量和扫描电镜的型号。
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世界公民
v3164334
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2019/11/22 11:08:02 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以，不过要先腐蚀一下
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canne_yswei
canne_yswei
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2020/1/8 14:56:30 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要看PN节是多大尺度的。只要不是特别小，应该能看到。
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