主题:【求助】FIB二次离子成像

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电镜小学生
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各位朋友好,最近在学习FIB的时候遇到一个疑问:当使用离子束的时候,离子束和样品相互作用,产生了许多信号,收集其中的二次电子和二次离子的信号可以用于成像。对于其中的二次离子成像不是很理解,为什么二次离子可以用来成像呢?二次离子反映的也是形貌信息吗?
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areocp
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二次离子,还是电子的信号强弱反应了 对应位置物理化学属性的差异。  形貌一般没有多大的立体感,大多都是强弱明暗的变化(这就是图像)。  二次电子分析能谱可能获得元素信息,二次离子可以获得元素/分子/同位素信息。
T133955
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SEMDriver
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