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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】FEI扫描电镜的HR聚焦问题

浏览0 回复12 电梯直达

liuyy1976

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发表于：2013/06/24 10:36:44 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

各位好，我们这里有一台FEI nova650的扫描电镜，前一阵冷水机的水泵突然出现了问题，换了一个水泵后冷水机工作正常了，但是电镜HR模式不能聚焦，厂家工程师过来检测了一下，说控制HR聚焦的电路板子被烧掉了。换一块板子很贵（买了电镜1年半），请问各位大侠有碰到过类似问题的吗？我们第一次遇到这种问题，本来以为电镜的寿命很长很长，应该怎么办呢？谢谢！

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小M

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2013/6/24 18:52:29 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

电镜的寿命不会很长，需要经常维护，换这换那的。除非低频率的用，出问题的机会就稍微少一点。

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小M

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2013/6/24 18:53:31 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

至于怎么办嘛，找FEI换一块电路板吧

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fengyonghe

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2013/6/24 21:09:50 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

对于不采用扩散泵的扫描电镜来说，冷水机是用来冷却什么部件的？和板子烧了有关系吗？

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kfcontrol

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2013/6/25 15:48:16 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
对于不采用扩散泵的扫描电镜来说，冷水机是用来冷却什么部件的？和板子烧了有关系吗？

冷水机除了冷却分子泵，电路板也是靠水冷的。。。工程师老说要我们把环境温度控制到和水冷温度温差±3℃，就是为了防止静电和短路，水系统是经过电路板子的。。。有空我给你上图。。。

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fengyonghe

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2013/6/25 16:42:46 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 kfcontrol(kfcontrol) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
对于不采用扩散泵的扫描电镜来说，冷水机是用来冷却什么部件的？和板子烧了有关系吗？

冷水机除了冷却分子泵，电路板也是靠水冷的。。。工程师老说要我们把环境温度控制到和水冷温度温差±3℃，就是为了防止静电和短路，水系统是经过电路板子的。。。有空我给你上图。。。

如此说来把环境温度控制到和水冷温度温差±3℃是有道理的，过高的室温会使板子形成冷凝水而短路，过低的室温会使板子过分干燥出现静电。

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cvbs11

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2013/6/27 15:31:18 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
电镜的寿命不会很长，需要经常维护，换这换那的。除非低频率的用，出问题的机会就稍微少一点。

我也是这么看的，但是Zeiss的有位资深工程师说电镜的性能和使用频率无关，这话我就没发认同。做的频率高肯定容易出问题，我这里的FEI电镜去年DS/GS板子烧坏了，今年MOTOR又坏了，每次都是花好几万，用FEI的设备伤不起啊

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小M

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2013/6/27 21:58:16 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 cvbs11(cvbs11) 发表:
原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
电镜的寿命不会很长，需要经常维护，换这换那的。除非低频率的用，出问题的机会就稍微少一点。

我也是这么看的，但是Zeiss的有位资深工程师说电镜的性能和使用频率无关，这话我就没发认同。做的频率高肯定容易出问题，我这里的FEI电镜去年DS/GS板子烧坏了，今年MOTOR又坏了，每次都是花好几万，用FEI的设备伤不起啊

彼此彼此，现在真不敢坏，坏了修不起

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小M

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2013/6/27 21:59:15 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 kfcontrol(kfcontrol) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
对于不采用扩散泵的扫描电镜来说，冷水机是用来冷却什么部件的？和板子烧了有关系吗？

冷水机除了冷却分子泵，电路板也是靠水冷的。。。工程师老说要我们把环境温度控制到和水冷温度温差±3℃，就是为了防止静电和短路，水系统是经过电路板子的。。。有空我给你上图。。。

看你的回复，我还以为又是你的设备出问题了呢，仔细一看，主贴楼主不是你……

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asahi42

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2013/6/28 10:43:32 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 kfcontrol(kfcontrol) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
对于不采用扩散泵的扫描电镜来说，冷水机是用来冷却什么部件的？和板子烧了有关系吗？

冷水机除了冷却分子泵，电路板也是靠水冷的。。。工程师老说要我们把环境温度控制到和水冷温度温差±3℃，就是为了防止静电和短路，水系统是经过电路板子的。。。有空我给你上图。。。

对于FEI的NNS系列，冷却水负责冷却TMP和物镜，和电路板冷却无关。而且水路和电路板较远，水温差关系不是特别大~

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liuyy1976

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2013/7/15 9:07:12 10楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

楼上老师说的是对的，听FEI工程师说，冷却水分了三路：TMP HR UHR，HR和UHR好像是冷却物镜中的线圈的，如果冷却水有问题，会使线圈的温度升高，线圈的电阻降低，电流增大，我们这次坏的电路板好像是控制其中一组线圈的。具体情况我们其实也搞不清楚，但是电路板上虽然没有冷却水，但是和冷却水还是有关系的。唉，头疼！

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