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主题：【已应助】安捷伦5973扩散泵加热器会自动关闭

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Insm_89b41df3
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发表于：2022/07/15 14:47:42 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
公司一台安捷伦的5973气质在运行几天到十几天后会自动关闭，问了售后的朋友，说是哪儿漏气，导致仪器保护性关闭。排查了进样口，接口，真空腔侧板，没发现有漏气。后面问了厂家工程师说是扩散泵坏了。现在搞不清楚究竟是什么问题。加热器自动关闭后，温度就升不上去了，要重新开机抽真空。调谐图谱看起来也不像是漏气，请各位大神指点指点
推荐答案：Insm_89b41df3回复于2022/07/15
问过安捷伦的工程师，说是扩散泵坏了，让换泵。问过做售后的朋友，说是漏气。现在不能确定原因，换泵要5万。
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2022/7/15 16:07:32 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查一下前级机械泵，如果泵油少或者漏油也会导致这种情况发生
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wuyuzegang
dahua1981
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2022/7/15 16:36:12 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
既然能正常开机运行十几天显然不应是漏气造成的，大概率是扩散泵的问题，也不该是漏油或油少，那样下次就不应该能正常开机了。
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Insm_89b41df3
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2022/7/15 18:19:14 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wuyuzegang(dahua1981) 发表:既然能正常开机运行十几天显然不应是漏气造成的，大概率是扩散泵的问题，也不该是漏油或油少，那样下次就不应该能正常开机了。
好的，谢谢
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Insm_89b41df3
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2022/7/15 18:20:48 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 通标小菜鸟(v3141805) 发表:检查一下前级机械泵，如果泵油少或者漏油也会导致这种情况发生
谢谢大神，泵有点漏油，油还有一半，我排查下这个问题
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安平
byron1111
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2022/7/15 18:49:29 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不像是漏气
。

可能是有硬件故障，建议报修一下为好。


扩散泵如果有问题，可能后果很严重。建议马上报修
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安平
byron1111
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2022/7/15 18:50:24 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这台仪器502和503碎片分辨率较低，最好一同报修
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Insm_89b41df3
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2022/7/15 18:59:54 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 安平(byron1111) 发表:不像是漏气。可能是有硬件故障，建议报修一下为好。扩散泵如果有问题，可能后果很严重。建议马上报修
问过安捷伦的工程师，说是扩散泵坏了，让换泵。问过做售后的朋友，说是漏气。现在不能确定原因，换泵要5万。
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fenxiyuan
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2022/7/15 22:14:04 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
学习学习！
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yinzheng02163
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2022/7/15 22:33:18 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
进来学习下
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symmacros
jimzhu
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2022/7/15 22:38:03 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有可能是硬件故障，不过请问扩散泵油多长时间换过？泵的温度怎样？有无过热？注意，小心烫伤。
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手机版： 安捷伦5973扩散泵加热器会自动关闭
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