主题:【分享】涡轮分子泵运转时需要注意的问题1

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lijing320323
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1、返流

  涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力,故常被用户选用,然而,用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境,经调查发现碳氢化合物的来源,50%是操作失误所带来的问题,如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时,没有控制返流的安全阀,不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流,不合要求的安全阀也会引起油污染。

  为了在系统中实现无碳氢化合物这一要求,在前级泵不是干式泵的情况下,有必要了解涡轮分子泵的压缩比及如何给泵充气的一些基本知识。
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从油扩散泵到分子涡轮泵,从油封式旋片机械泵到干式泵都体现了真空提供的进步。
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