之前设备工作中频繁熄火,考虑到设备使用已经到了第七个年头,一般很少对设备核心部件做维护,周五,工程师上门对设备做了检查和评估,如下图:
VARIAN 700系列的RF工作仓还是挺占空间的,上图是清理灰尘后的
RF功率管是MADE IN USA,设备点火后功率管是烧的通红的
打开时候里面灰尘很多,工程师使用小毛刷和无尘纸擦了好久,VARIAN 系列通过捕风对RF功率管工作和设备内部降温,有些设备是通过水冷的方式给RF功率管工作和设备内部降温,比如利曼的ICP,设备清洁维护不到位的话,特别是使用时间比较长的设备问题还是容易爆发的,您的设备是否也出现过类似问题,欢迎讨论