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主题：【求助】CPS & 末级光圈

浏览0 回复6 电梯直达
adu110
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发表于：2007/12/10 14:15:41 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我一般做EDS分析的CPS在4000到4500左右，相对应的SPOTSIZE在50足够了，可是现在 SPOTSIZE需要放得更大到63以上才可以达到4千多的CPS；
    探头的距离，角度都没有变化，所以很是困惑；
    在检索了论坛以往的记录后，有位大侠说清洗末级光圈会立竿见影；可是如何清洗呢？在此请教诸位大侠！
    还有，如果是真空度不足，又如何证实呢？有没有什么简单的方法来观察？谢谢。
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huangtao0307
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2007/12/11 22:29:54 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 adu110 发表:
我一般做EDS分析的CPS在4000到4500左右，相对应的SPOTSIZE在50足够了，可是现在 SPOTSIZE需要放得更大到63以上才可以达到4千多的CPS；
    探头的距离，角度都没有变化，所以很是困惑；
    在检索了论坛以往的记录后，有位大侠说清洗末级光圈会立竿见影；可是如何清洗呢？在此请教诸位大侠！
    还有，如果是真空度不足，又如何证实呢？有没有什么简单的方法来观察？谢谢。

------1.我一般做EDS分析的CPS在4000到4500左右，??
想问一下楼主用的是那家的能谱呢？CPS怎么会要4K到5K呢？正常情况最多也只要3K就好了，我用的是牛津的了在做实验时最多到1K左右就好了！
-----2.相对应的SPOTSIZE在50足够了？
SPOTSIZE到50了也是不正常的，那样的话电镜很容易受污染的.
-----3.如果是真空度不足，又如何证实呢？
真空度不足你的能谱还能用吗？

CPS不用那么高的，有1K到1.5K就可以了！
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2007/12/12 9:16:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
回复二楼的大侠:1,我这里的能谱也是牛津的;
2,如果保持1K~2K的CPS,我这里的dead time可能就只有10%左右拉，按照JEOL工程师的说法,deadtime必须保持在20%以上,这样EDS结果的准确度才足够高.
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2007/12/13 10:04:20 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如何清洗末级光圈，盼各位大侠再施援手。
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tao______
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2007/12/13 22:59:05 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
您的做法是对的，能谱分析最好用高计数，这是无庸置疑的，没有1Kcps就足够的这种说法！
不知道你的电镜是那一款，建议检查一下
1.能谱的位置
2.WD，HV
3.和样品也有关系，两次是用的同样的样品吗，原子序数相差很大的时候X射线产额相差很大
4.检查准直器是否被堵住了？如果是老的SEM用油扩散泵的话可能回吸的油冷凝在TUBE上滑落到准直器堵住准直器。
5.检查光缆align
原文由 adu110 发表:
我一般做EDS分析的CPS在4000到4500左右，相对应的SPOTSIZE在50足够了，可是现在 SPOTSIZE需要放得更大到63以上才可以达到4千多的CPS；
    探头的距离，角度都没有变化，所以很是困惑；
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    还有，如果是真空度不足，又如何证实呢？有没有什么简单的方法来观察？谢谢。
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adu110
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2007/12/14 12:50:15 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
偶的电镜是JEOL6360LV的，
准直器跟电缆我得好好检查一下。其它的都不是问题 。
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RENXIN
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2007/12/19 21:22:53 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
白金的光阑可以利用快速加热法，加热时在火焰和光阑之间用白金片隔离，以避免不必要的污染。
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