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主题：电压对分辨率的主要影响

浏览0 回复9 电梯直达
spinglass
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发表于：2006/11/07 21:31:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请教各位SEM大侠
在同样的WD, 同样的束斑和不考虑放电效应的条件下，请问二次电子像的分辨率是在高电压时好还是稍低电压时好？
在高电压时，电子能量高，BSE所产生干扰会增强，如ＳＥ２－５及其产生的diffusion　ｃｏｎｔｒａｓｔ等。此时信噪比因该会差一些？就SEM 而言，电压对分辨率的主要影响在哪里？盼指教！


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2006/11/8 7:47:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
当然是电压高，分辨率要好了。
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spinglass
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2006/11/8 8:41:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 skyhunter 发表:
当然是电压高，分辨率要好了。


---------------------------------

能否详细点？
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miumiu
luoshu000
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2006/11/8 8:58:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
高电压可能会引起非导体样品的充电效应，所以高电压不一定图像效果比低电压好。
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2006/11/8 9:31:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
相同条件下，增加电压是为了增加束流密度，也就是增加激发的二次电子的数量，表现在图像上，是增加图像的亮度，就是说相同条件下，尤其是相同的数班尺寸下，获得更多的信息，当然是图像更清晰，也可以理解为分辨率更好了。

解释的有点乱。抛砖引玉吧！

哦，电镜的分辨率跟样品无关！用的应该都是标样吧！
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Last edit by skyhunter
常怀千岁忧
narcisus
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2006/11/8 15:17:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不考虑其他因素
加速电压越高，电子束波长越小，分辨率肯定越高
毋庸置疑
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semuser
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2006/11/8 15:46:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电镜图像分辨率由三点决定：
1、加速电压，其他参数相同，加速电压越高电子波长越小，分辨率越高；
2、样品的原子序数，越高则电子束在样品中的扩散性越小，分辨率越高；
3、信噪比，棋他参数相同，轰击的电子越多，样品激发的信号越多，分辨率越高。
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spinglass
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2006/11/9 9:06:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位大侠，万分感谢！
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共工
renxin
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2006/11/9 15:57:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 semuser 发表:
电镜图像分辨率由三点决定：
1、加速电压，其他参数相同，加速电压越高电子波长越小，分辨率越高；
2、样品的原子序数，越高则电子束在样品中的扩散性越小，分辨率越高；
3、信噪比，棋他参数相同，轰击的电子越多，样品激发的信号越多，分辨率越高。

您的解释已经接近完美， 补充一下
电镜光路中常讲的色差， 是由于    单个电子所拥有的加速动能的不均匀性造成的，加速电压越高，这个不均匀性就越小，象差就越小，因而分辨率有所提高。
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dlclq
denqinamao
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2006/11/9 18:55:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
长见识了，又多了解了，谢谢大家
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