主题:请问深能级瞬态谱(DLTS)技术的工作原理是?谢谢

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slw
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请问深能级瞬态谱(DLTS)技术的工作原理是?谢谢
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amihu
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深能级瞬态谱(DLTS)技术在中国科学院半导体研究所材料重点实验室有该仪器设备:<br>
他们主要用于各种低阻半导体材料中深杂质的检测,原生点缺陷及络合物,辐照或离子注入的感生缺陷以及MOS器件的界面态研究等。<br>
具体内容咨询电话:8610-82304210 <br>
nfchen@red.semi.ac.cn<br>
hzhgx1979
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请您利用网上的信息资源进行文献检索,可以利用:<br>
http://www.analysis.org.cn/ 中国分析网<br>
http://www.google.com 信息检索网<br>
http://www.wanfangdata.com.cn/万方数据库<br>
http://www.nstl.gov.cn/nstl/user/ywjsdg.jsp 国家科技文献图书中心<br>
http://www.scirus.com/?PTS Scirus 科学信息检索网<br>
http://www.chinastandard.com.cn/view.asp?id=200302180019 标准咨询网<br>
http://www.chemlab2u.com/fx2/sz.htm 化验室<br>
http://www.ingenta.com/    .ingenta.17000杂志检索<br>
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