今天第一次学习SPM的操作,我自己虽然没有亲自上机操作,只不过是一直看工程师在做,但应用在本论坛学到的东西,并通过与工程师的交流自认为学到了些东西.如题所说的比例分配是工程师说的.我们的仪器是一个比较新的型号(在这我不就是谁家的仪器了),今天的感觉就是操作起来还是很简单的,因为我们的机子在测量形貌过程中只有一个参数是可调的,所以可能制样占的比例更大一些.

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2008/3/3 16:35:27 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

spm的优点很多如分辨率高，环境要求没有SEM高，制样方便等。但有一个缺点就是不能像SEM那样大范围变焦，而只能在最大100UM范围内找特征结构。因此制样时，要求特征结构分布均匀。在测试时，对扫描参数的设置也要合理，否则容易破坏样品。至于后处理，如果得到的图是好的，后处理最好不要用了。所有的后处理都影响这样品的真实结构。

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2008/3/11 16:32:55 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

同意，赞！

原文由 hanz 发表:
spm的优点很多如分辨率高，环境要求没有SEM高，制样方便等。但有一个缺点就是不能像SEM那样大范围变焦，而只能在最大100UM范围内找特征结构。因此制样时，要求特征结构分布均匀。在测试时，对扫描参数的设置也要合理，否则容易破坏样品。至于后处理，如果得到的图是好的，后处理最好不要用了。所有的后处理都影响这样品的真实结构。

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2008/7/25 15:52:39 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 tianzhen 发表:
今天第一次学习SPM的操作,我自己虽然没有亲自上机操作,只不过是一直看工程师在做,但应用在本论坛学到的东西,并通过与工程师的交流自认为学到了些东西.如题所说的比例分配是工程师说的.我们的仪器是一个比较新的型号(在这我不就是谁家的仪器了),今天的感觉就是操作起来还是很简单的,因为我们的机子在测量形貌过程中只有一个参数是可调的,所以可能制样占的比例更大一些.

样品制备是决定SPM应用得好坏的重要环节，制备好的样品无论是国产或进口的仪器都能很容易的到一幅好的图像。经验也很重要，丰富的经验可以让你克服许多扫描或操作问题，比如图像拉丝、拖尾、模糊不清，针尖共振等。大多的仪器在测量形貌过程中很少每次只调节一个参数就可以把图像扫得很清楚的，应该是根据扫描图像的清晰度不断的调整作用力及反馈。使图像达到更清晰的程度。

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