主题:【求助】为什么炬管帽会熔掉????

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ztdocument
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最近ICP点火时,会发出异常尖锐的类似金属刮碰的声音,然后火也没有点着。
检查炬管帽,发现与射频线圈交界的石英玻璃表面已经熔化了。线圈还掉下不少铜粉。有时候换一根炬管又没有问题,请问各位朋友有这种情况吗?
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原文由 ztdocument 发表:
VIARIAN:
最近ICP点火时,会发出异常尖锐的类似金属刮碰的声音,然后火也没有点着。
检查炬管帽,发现与射频线圈交界的石英玻璃表面已经熔化了。线圈还掉下不少铜粉。有时候换一根炬管又没有问题,请问各位朋友有这种情况吗?


培训的时候工程师讲到过,如果线圈生锈点燃等离子时若有锈屑掉下就会把炬管融掉,你检查一下你的线圈吧,看是不是这个原因
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