【讨论】溅射仪镀金一次有多厚？

110sl119

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2009/1/18 11:42:07 11楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

时间长厚;
电流大，PT的颗粒大；
一般超过5nm你怎么分析啊？

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guanjun19860820

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2009/1/23 15:29:45 12楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

和你的电压电流以及时间有关的，一般也就几个到几十个纳米吧！

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驰奔

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2009/9/26 16:21:25 13楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

d=kivt
例如：KYKY生产的SBC-12 小型离子溅射仪
金靶空气，K=0.07
i=8mA
v=1.6kv
t=100秒
d=0.07*8*1.6*100=89.6埃

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rainflying666

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2009/10/8 11:35:13 14楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

和镀金电流，镀金时间都有关系的吧

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wcf333459

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2009/10/12 10:42:26 15楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我们用的是低真空,高压在2kv~~3kv之间,离子流为4--6 mA,时间有3---4分钟吧,这样不知道那喷的金到底有多厚?

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teufelmond

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2009/10/12 11:05:14 16楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我记得是在说明说的后几页有一个线性关系图,标明了时间,电流对厚度的影响,具体的忘记了~

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驰奔

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2009/10/13 10:49:06 17楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 srd2009 发表:

离子流的大小通过调节真空度是可控制的，如果改为2-4mA 镀膜质量要好一些

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驰奔

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2009/10/13 10:56:25 18楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 wcf333459 发表:
我们用的是低真空,高压在2kv~~3kv之间,离子流为4--6 mA,时间有3---4分钟吧,这样不知道那喷的金到底有多厚?

dmai=0.07*4*2*180=100.8埃-----------dmax=0.07*6*3*240=302 埃

按照你的条件喷金厚度在
10.08nm---30.2nm 之间

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huangtao0307

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2009/10/14 8:24:09 19楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

具體厚度還真不好算﹐當時有問過日本電子原材工程師也沒給出確切的答案.
只說一般情況下都是通過鍍金后的顏色來判定其厚度.越深代表越厚.

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syning90

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2009/11/3 14:53:23 20楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

这个要根据什么样品来说，一般说来在5-10nm，太厚了会影响样品表面形态，太薄了容易产生放电现象，所以这个还是根据经验来看。

另外，电流大小影响的是金颗粒的大小，而喷金时间的长短影响的是金膜的厚度

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