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主题：【FAQ】SEM图象的黑白对比都与什么因素有关？

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halerok
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发表于：2005/02/26 13:56:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
该帖子已被RENXIN设置为精华；
黑白对比除了与工作距离，样品成分外，还与哪些因素有关？
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2005/2/28 8:55:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
主要是样品表面的形貌，另外样品的倾斜角度也有影响。
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halerok
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2005/2/28 10:31:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 glietwang 发表:
主要是样品表面的形貌，另外样品的倾斜角度也有影响。



多谢参与。我跟您用的仪器型号完全相同，有不明白的地方还得向您请教！
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zemb
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2005/2/28 13:26:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
主要取决于样品产生二次电子的多少，与加速电压、探针电流、样品倾斜、形貌都有关系，当然工作距离、探测器收集极电压及对二次电子的遮挡等这些影响二次电子收集的因素也有关。
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halerok
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2005/2/28 16:28:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zemb 发表:
主要取决于样品产生二次电子的多少，与加速电压、探针电流、样品倾斜、形貌都有关系，当然工作距离、探测器收集极电压及对二次电子的遮挡等这些影响二次电子收集的因素也有关。



以上条件一定，平整样品表面的黑白对比说明什么呢？有杂质存在？
球体颗粒（特别是导电性差的样品）的黑白对比主要是景深的问题吗？这些是否都属于SEM原理“反差”方面的问题？
由SEM图片分析获得有限信息的经验太少了，大侠有何高见？
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halerok
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2005/2/28 16:32:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
还有一点：二次电子数越多，观察区域越亮吗？
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renxin
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2005/2/28 22:31:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1，SEM图像的反差只能是黑白的，所以你问黑白反差。。。

2，SEM样本室内的不同的探测器收集不同的信号，所有信号都是由一次入射电子引发的，图像信号是最普遍的一种。

3，一次电子打在样本上，反射出不同的电子，基本上反射出电子多的地方就较亮，被激发出较少电子的地方就较暗， 法拉第杯就是全黑

4，弹性散射和非弹性散射所产生的电子都可以产生反差，弹性散射产生背散射电子， 背散射电子反映成分反差，非弹性散射产生二次电子，二次电子和背散射电子共同反映了形貌反差

5，只有在场发射电镜镜筒中的电子检测器才能收集到纯二次电子信号，一般我们称ET探测器为二次电子检测器， 但是它收集的是30%的二次电子和70%的背散射电子，在加上这种探测器的检测角度，最容易检测形貌反差

6，闪烁体式背散射电子检测器主要检测成分反差， 硅片固体式背散射电子检测器可以通过不同的设置检测到成分反差和形貌反差
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halerok
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2005/3/1 9:52:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大侠，我对SEM的了解确实是一穷二白，非常感谢您还这么耐心地给我讲解！我想是应该把参考书再仔细地看一遍，争取再提问一些有建设性的问题
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RENXIN
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2005/3/1 15:55:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我这么卖力地说了一大堆， 怎么也应该真诚地说声谢谢吧，没有一本参考书会告诉你我说的， 这全都是我多年来的经验之谈, 没准你在某书上看到了，那么请你告诉我那本书的名字好不好。
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2005/3/2 11:35:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
回楼上：

1、不懂就是不懂，我不会羞而不问的，以后还请大侠多指教。孔子云：“学而不思则罔，思而不学则殆”。应该先有所知，后知所不知，所以我想先静下心来看看书。

2、“非常感谢您还这么耐心地给我讲解！”是我的心里话，“！”是用来加强语气的。


3、“这全都是我多年来的经验之谈”

4、您的经验确实很丰富，看了书再想想您的观点相差无几，只是书上说的更详细，不过您的总结更容易掌握：）（《扫描电子显微技术与X射线显微分析》，[美]J.I.戈尔茨坦等著，科学出版社）
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renxin
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2005/3/2 15:39:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很明显，您对电镜的了解并不是一穷二白，我敢打保票您的操作经验绝对很丰富，但是对基本概念的了解较模糊不清，
您讲的这本书是扫描电镜的权威，我相信几乎每个操作员都看过，但是每个人的理解程度和正确度大相径庭，
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