主题：能谱测试取样深度

让什么贤啊，论学历有学历，论经验有经验，而且管理也厉害，目前也没有谁能替代你的位置了！

原文由 shxie 发表:

原文由 SeanWen 发表:
不相信我？

呵呵，不是不相信你，是不相信自己的能力，越来越觉得应该让贤了

原文由 SeanWen 发表:
让什么贤啊，论学历有学历，论经验有经验，而且管理也厉害，目前也没有谁能替代你的位置了！

汗，我的学历可不是电镜学历啊，经验也是局限于我从事的样品方面。renxin大侠本来挺合适的，可惜他太忙了，来的比较少，论坛需要人能经常在，无论回答问题还是介绍其他的，有人气才能吸引更多的人加入交流的行列啊。

EDS的取样深度近似等于入射电子束的穿透深度，与过压比、样品本性有关，可用Anderson 和 Hasler表达式估计：
R = 0.064 ( Eo 1.68  -  Ec 1.68 ) / r
式中：R    = 空间分辨率，μm
     Eo=加速电压， KeV
     Ec= 临界电离能，KeV
     r= 样品密度，g/cc

你选择的束斑20nm太小了

Quantitative Results
Elt XRay      Int      Error        K      Kr      W%      A%      ZAF  Formula    Ox%    Cat#
  O    Ka      1.7    0.1788  0.0493  0.0326  15.05  30.63  4.6185            0.00    0.00
  Na  Ka      3.4    0.2519  0.0415  0.0274    5.58    7.91  2.0349            0.00    0.00
  Mg  Ka      1.9    0.1913  0.0224  0.0148    2.47    3.31  1.6674            0.00    0.00
  Al  Ka      1.8    0.1849  0.0204  0.0135    1.94    2.35  1.4434            0.00    0.00
  Si  Ka    40.3    0.8723  0.4609  0.3046  38.20  44.31  1.2542            0.00    0.00
  K    Ka      0.0    0.0000  0.0000  0.0000    0.00    0.00  1.2983            0.00    0.00
  Ca  Ka      5.1    0.3097  0.0980  0.0648    7.84    6.37  1.2094            0.00    0.00
  In  La      0.8    0.1229  0.0310  0.0205    2.94    0.83  1.4336            0.00    0.00
  Au  La      0.8    0.1255  0.2765  0.1828  25.98    4.30  1.4216            0.00    0.00
                    1.0000  0.6609  100.00  100.00                    0.00    0.00



Automatic Identification Results
  Elements Present:
        O(8), Na(11), Mg(12), Si(14), Ca(20)
  Possible Additional Elements:
        Al(13), K(19), In(49), Au(79)

Energy    Intensity  Elements  Elements
  (keV)    (counts)    Present  Possible
  0.505          88    O  Ka
  1.042        205    Na Ka
  1.260          94    Mg Ka
*1.486          63                Al Ka
  1.739        2579    Si Ka
*2.155          56                Au Ma1
*3.316          43                K  Ka
*3.700        260    Ca Ka
                                  In Lb2
  4.006          60    Ca Kb1



我看不太懂，哪几项是关键参数？

取决于样品和电压。 听说有很多模拟软件。在EDAX公司培训的时候他们给了个模拟软件。但只能在EDX的computer 上用。 安装在笔记本上用不了。如果你有EDX系统。 我可以发给你。

要向楼主多多学习

知道这么多，真强！

在20kv下，Si的取样深度是5um，Au大约0.5um。
10kv下，Si是1um左右，Au只有零点几微米了