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主题：【求助】膜层的测试

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发表于：2009/07/01 15:41:44 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
基片上有基层膜，纳米级的，有的是溅镀，有的是旋涂上的，不过好像中间有的膜被穿透了，请问有什么仪器可以测试是哪层被破坏了吗？
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2009/7/2 14:05:18 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SEM、TEM可以吗？
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azuoin
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2014/4/3 15:45:19 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不知道你这个膜穿透区域直径有多少？ 如果直径在微米级以上，可以通过成像椭偏仪来检测，它能测量绘制多层薄膜的三维图形。

虽然时间有些长了，但是还想答复一下，希望能给关注这个问题的朋友一个参考解决办法。

原文由 78668662(78668662) 发表:

基片上有基层膜，纳米级的，有的是溅镀，有的是旋涂上的，不过好像中间有的膜被穿透了，请问有什么仪器可以测试是哪层被破坏了吗？
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cvbs11
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2014/4/7 13:17:05 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最好使用FIB+TEM或者SEM来确认，单纯测量膜的厚度，可以用XRR测量
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