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主题：【求助】非晶Si薄膜中的黑色条纹

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qinerrrr
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发表于：2008/06/17 16:58:49 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
本人制备了一个非晶Si薄膜的平面样品，但是在图像中看到许多黑色条纹带，这是否是因为薄膜中应力应变造成？（因为是离子减薄的样品）
请大侠指教！
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2008/6/17 17:12:29 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
上个照片看看，记得一定带标尺。
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2008/6/17 17:37:52 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请指教，谢谢！
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Last edit by qinerrrr
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2008/6/17 18:41:43 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那个黑黑的大棒子太大了，有没有低倍的图片？要看看数量，分布。另外，这个照片严重过焦，会出现假象，最好是倍数低一些，正聚焦或者轻微欠焦的照片。称度太差可以加物镜光栏。
但是可以肯定，这个条纹不是单纯离子减薄形成的。
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天黑请闭眼
shxie
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2008/6/18 10:59:21 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我觉得就是这个地方比较厚，原因可能是膜有了重叠，或者这个地方有其他物质沉积。
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2008/6/18 17:18:01 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
偶是新手，照片质量较差，请多包涵啊。
这是唯一的一张低倍像，因为看到许多条纹，又完全是非晶膜，所以就没有继续照相了。
今天又听到一个解释，说可能是等倾或等厚条纹，不知是否正确？因为偶觉得这个膜是不应该有重叠的，即使是重叠，也不会有那么多重叠。


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Last edit by madprodigy
蓝莓口香糖
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2008/6/18 17:36:21 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
哪个是条纹？最下面的两条，还是上面那些黑黑的？两张图的尺寸好对不上。如果信息不准确，费脑筋解释是没有意义的。如果确实感兴趣，建议重新做一次实验。
非晶膜不会有等倾和等厚条纹条纹。
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怪味陈皮
ustb
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2008/6/19 16:06:52 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我前几天帮别人做过一个样品，是在SiO2（好像是非晶）表面长多层膜，也看到跟你发的类似的图像。本来以为是多层膜，对这个黑条纹做能谱分析，结果还是SiO2。我怀疑这些黑条纹可能是离子减薄过程中样品边缘卷曲造成的。
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Last edit by ustb
qinerrrr
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2008/6/19 16:13:58 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
7楼的回答也许是正确的，因为我也是在Si衬底上生长SiO2和Si的多层膜，结果发现是非晶的，而且有这许多条纹（这个是平面样品，所以应该不会是多层膜的特征吧）。因为不能做能谱，所以不知道是什么东西。又因为负责离子减薄的工程师说因为我的样品做的不是太好，所以可能会有很多应力在里面，所以想问问。
另，回6楼：黑色条纹是指上面那些黑的。这个样品并不是特别重要，只是因为是新手，看到这个情况，想了解一下而已。
谢谢大家的耐心解答！
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Last edit by qinerrrr
hinicalon
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2008/6/23 13:35:05 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 drizzlemiao 发表:
哪个是条纹？最下面的两条，还是上面那些黑黑的？两张图的尺寸好对不上。如果信息不准确，费脑筋解释是没有意义的。如果确实感兴趣，建议重新做一次实验。
非晶膜不会有等倾和等厚条纹条纹。



非晶膜为什么不会有等倾等厚条纹啊，这不是光的干涉吗？和晶态非晶态也有关系？
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drizzlemiao
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2008/6/23 17:33:53 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hinicalon 发表:
非晶膜为什么不会有等倾等厚条纹啊，这不是光的干涉吗？和晶态非晶态也有关系？

咱们用运动学理论解释吧。等倾条纹是因为局部的晶面发生偏转，比周围的晶面更加符合衍射条件，所以衍射更强，从而在明场像中出现黑色条纹。等厚条纹是电子束穿过样品是被晶格逐层散射，散射波逐个累加达到最大（运动学解释），从而在明场像中形成黑色条纹。所以两者都是需要规则晶格进行散射的。这样的解释也指出了二者的一个区别——等厚条纹是周期性的，而等倾条纹往往没有周期性。
这两种条纹都属于衍射衬度，不是干涉的结果。证据就是明，暗场像。单个透射或者衍射束即可观察到，不需要第二个光束参与成像。
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