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主题：【求助】请教大家：若不进行氩离子刻蚀，如何利用XPS测试薄膜厚度呢（XPS检测深度范围内）？谢谢大家

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tranquilseaside
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发表于：2008/07/13 19:35:02 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题，请教各位，请问有什么计算公式吗？谢谢了
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2008/7/14 18:04:29 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你如果不用深度剖析
拿只能通过变角XPS
但是他的取样深度更浅
公式是d＝3dsina
具体的你可以看这本书
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20070817/945997/
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20060605/449362/
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2008/7/16 17:06:03 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢你。好像是需要用变角度的XPS。但是不知道怎末去算？
能否给讲讲呢
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feixiong5134
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2008/7/16 17:37:11 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这只是一个粗劣的估算
公式是d＝3dsina

因为论坛不能上传公式
所以很多东西是没法讲的
详细的你可以看王老师的那本书236页以后的
不好意思
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2008/7/17 13:50:11 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 feixiong5134 发表:
这只是一个粗劣的估算
公式是d＝3dsina

因为论坛不能上传公式
所以很多东西是没法讲的
详细的你可以看王老师的那本书236页以后的
不好意思


再次谢谢你了。
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zxg0526
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2008/7/18 15:12:37 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
学习一下啊！！！：）
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