主题：【分享】icp4000/5000保养维护

ICP4000/5000保养的内容:
一般检查：
（1）    询问客户仪器上次维修后整体的性能情况
（2）    检查输入电压及其接地电压是否正常


1.    机械/气路检查
(1)    检查以及清洁全部风扇以及滤光器
(2)    检查全部矩管部件,如有必要,要更换
(3)    检查全部管路,如管路出现裂缝或者漏液,要更换
(4)    检查蠕动泵是否正常运作
(5)    检查内部氮气,氩气及切换气压调整器,如有必要,要进行调整
氮气@20psi
氩气@75psi
切换气压@65psi
矩管压力@65psi(两端)
(6)    检查分光计内部水压调整器,如有必要,要进行调整
水压@35psi
(7)    检查等离子仓,辅助器以及雾化器流速
(8)    检查切割气喷嘴,看是否有阻塞以及流量是否正常均衡.吸入钇并且检查切割线
(9)    检查分光计及矩管气压情况,看是否漏气
(10)    检查氮气高/低吹扫气以及切割气电磁阀是否正常运作,如有需要,要更换
(11)    检查全部分光计马达的功能,从分光计DCM驱动马达
(12)    检查马达,联接,如发现问题,更换发动机,设置分光计的螺杆以及齿轮位置(狭缝,X/Y镜)
(13)    对冷却循环水进行预防性保养(参照SDB PSCI003A.STN)
(14)    一年更换冷却循环液一次,要让客户意识到维持冷却循环液水平以及过滤网的更换的重要性
(15)    排清空压机气缸
(16)    清洁仪器外部

2.    电学方面
(1)    检查全部电路板
(2)    检查仪器软件及硬件,如有必要,要对仪器软件及硬件进行校正以及更新
(3)    运行仪器,从DCM进行诊断
RF发生器:1)检查RF发生器状态屏.2)检查全部连锁的功能3)检查进样室加热器是否正常运作4)运行能量范围测试
(4)    检查全部RF发生器以及分光计电源电压

3.    光学方面
(1)    检查全部光学部件及净化管,在进行性能测试时,如出现问题,如有必要,要清洁或者更换光学部件以及净化管
(2)    检查转换光功能是否正常(X/Y镜)
(3)    检查狭缝装置运行是否正常
(4)    清洁轴向及径向观察窗,如有必要,要更换他们
(5)    检查切割气管
(6)    在分光计DCM检查分光计光管温度(顶部温度,底部温度,垂直温度,光学底部温度).操作模式应该要正常以及温度应该要在37-42度之间
(7)    运行检测器X/Y位置调整,在分光计DCM使用工厂校正进行调整
4.    性能测试
(1)    按照A&T参数或者仪器试运行程序进行Mn测试
(2)    整体系统运作最后检查