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主题：【求助】电镜中真空规的类型

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白水山石

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发表于：2008/11/20 21:20:22 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

记得电镜的工程师说过其所用的真空规是潘宁规,但我今天看了一份有关真空的介绍中说潘宁规的极限真空度为1X10-3Pa,而我们的电镜中离子泵最低的真空度也达到10-6pa,现我有三个问题求教:
1\潘宁规的极限真空度究竟是多少?
2\电镜中所用的真空规是潘宁规吗?
3\潘宁规与BA规比,谁的极限真空度更低?
对了,我用的电镜是S-4800.

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2008/11/21 18:37:06 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 tianzhen 发表:
记得电镜的工程师说过其所用的真空规是潘宁规,但我今天看了一份有关真空的介绍中说潘宁规的极限真空度为1X10-3Pa,而我们的电镜中离子泵最低的真空度也达到10-6pa,现我有三个问题求教:
1\潘宁规的极限真空度究竟是多少?
2\电镜中所用的真空规是潘宁规吗?
3\潘宁规与BA规比,谁的极限真空度更低?
对了,我用的电镜是S-4800.

4800不熟悉，只能说说我们的镜子，希望有帮助：
电镜机械泵部分“粗”真空用皮拉尼电阻规测量真空，测量极限通常可到达10-3mbar；
分子泵负责的样品室和镜筒部分用潘宁电离规测量，我们所用的Edwards的潘氏规通常工作范围10-2mbar到10-8mbar（因为都是电离作用，所以能都达到离子泵的真空水准）；
通常潘宁规都是放置在样品室的底端测量样品室的高真空，通常分子泵能将样品室抽到X10-5~-6mbar的真空；且样品室与离子泵之间尚有一段距离，通常潘宁规所测量的真空与离子泵有很大差距。

BA规我不清楚，通常都是测量样品室的环境低真空的吧？测量范围应该跟潘宁规不重合吧？抛块砖头！

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2008/11/21 18:39:17 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

另外离子泵的真空都是本身计算测量出来的真空度，不需要额外的真空规测量！应该跟潘宁规没关系！

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2008/11/22 13:14:31 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 amoslau 发表:
另外离子泵的真空都是本身计算测量出来的真空度，不需要额外的真空规测量！应该跟潘宁规没关系！

谢谢您的回复,离子泵的真空度是根据什么原理或者公式计算出来的?我以前只以为是测出来的,就是用的潘宁规.我觉得准确的说法应是根据真空规所测定的某一参数计算出来的比较合理,因为不同原理的真空规会测定不同的参数,所以计算的方法也就不同.
AB规与潘宁规的结构和原理基本相似,前者是热阴极真空规,收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空.
后者是冷阴极真空规,与B-A规的阴阳极位置倒置.

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