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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【讨论】关于聚光镜电流和束斑直径的问题？

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cndy_fen

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发表于：2008/12/19 17:39:51 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

降低聚光镜电流来增加电子束束斑直径，怎么理解？原理是怎样的？
听我们工程师说聚光镜电流是通过调节spotsize来实现的，对吗？

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2008/12/21 23:10:40 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 cndy_fen 发表:
降低聚光镜电流来增加电子束束斑直径，怎么理解？原理是怎样的？
听我们工程师说聚光镜电流是通过调节spotsize来实现的，对吗？

答：不知你是否看过任何一本有关扫描电镜的书，你的问题可以在书中得到圆满答案。我只能说一下结论性的东西。你工程师说得很对。聚光镜（电磁透镜）的电流产生一个聚焦磁场，电子在磁场中通过受电磁力的偏转会聚成电子束束斑。调节spotsize实际上我们调节的是聚光镜电流。较小的聚光镜（电磁透镜）的电流，产生较弱的聚焦磁场，因而得到较大的spotsize。对钨阴极热发射电子枪，不考虑像差他们之间的关系可表达为：d²=0.4i/Bα²。d:束斑直径 i:束流 α：张开半角，张开半角大小受聚光镜电流控制 B:亮度。说到这我想应该可以了。

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磨剪子嘞锵菜刀

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2008/12/24 20:26:40 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

电子束直径是通过多级汇聚透镜不断被减小的！

通常调节Spotsize是调节第一级磁透镜或静电透镜的汇聚能力来调节电子束直径及发射半角

调节spotsize同时会影响到电子束的直径和电流强度！

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九易六

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2008/12/24 22:07:15 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

请教楼上：正如你所说，我也发现调节束斑的时候会影响到电流强度，提高束斑电流之后亮度降低了，这是为什么呢？另外，每次提高束斑电流时，屏幕上的像就会向着右上方移动，且出现失焦，要重新调视野和对焦。这是什么原因呢？

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2008/12/26 22:27:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 wish36 发表:
请教楼上：正如你所说，我也发现调节束斑的时候会影响到电流强度，提高束斑电流之后亮度降低了，这是为什么呢？另外，每次提高束斑电流时，屏幕上的像就会向着右上方移动，且出现失焦，要重新调视野和对焦。这是什么原因呢？

不敢谈请教，大家共同进步；
提高束斑，电子束的直径变小，打在样品上的电子束的电流相应的减小；

这是因为增加束斑值，增加了第一级透镜的汇聚能力，相应的电子束在经过两级透镜汇聚之后，打在末级光栏上的角度变大（电子束的发射角变大，但是光栏的尺寸不变，即通过末级光栏的电流变小）打个手电筒的比方，用手电筒的光照射到一个大小不变的孔洞，如果光束的发射角变大（光斑变大），那么能够射进孔洞的光就会相应的变少；这样我们可以能够理解图像变暗的原因了；

因为调节Spotsize是改变了第一级透镜的聚焦能力，相应的各级别的透镜的焦点也发生改变，所以改变spotsize的同时需要再次聚焦是正常现象；

图像视野发生漂移通常是因为电子光学不对中（各级透镜及光栏不对中造成的）；
首先考虑末级光栏（物镜光栏）不对中导致的。
其次可能是透镜对中问题。

就想到这么多其他的还要请大侠们补充。

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