主题：【求助】金膜厚度测量

原文由 yijian_zq 发表:

原文由 hmzhou83 发表:
我不是很清楚哪个版块有技术可以解决这个问题，估计电镜也许可以，所以先发在这个版块，要是有其他版块有此项技术请告知一下，我再转发。谢谢！


我们需要测量的金膜是溅射在玻璃基片上的。玻璃基片约0.5mm厚，大小约1cm*1cm。基片上有一层很薄很薄的铬，完全可以忽略，金膜溅射在铬上的，厚度约50nm左右，我们想比较准确测量一下其厚度，误差 1-3nm以内吧。误差5－10nm左右呢？？？示意图如下

只要把样品做好，扫描电镜能不能测的关键在于束斑直径，也就是最高分辨率。如果误差允许5-10纳米，束斑直径3纳米的扫描电镜可以做。如果误差允许1-3纳米，束斑直径1纳米的扫描电镜可以做。型号为SUPRA 55和SUPRA40扫描电镜，束斑直径1纳米。在横截面上玻璃和金膜形成很大的反差，更有利于测量。国内已有长度测量的标样，在测量之前先行校对一下误差。纳米级长度的扫描电镜测量方法通则，标准编号：GB/T 20307-2006  金属履盖层横截面厚度扫描电镜 测量方法  JB/T 7503-1994

原文由 hmzhou83 发表:
我不是很清楚哪个版块有技术可以解决这个问题，估计电镜也许可以，所以先发在这个版块，要是有其他版块有此项技术请告知一下，我再转发。谢谢！


我们需要测量的金膜是溅射在玻璃基片上的。玻璃基片约0.5mm厚，大小约1cm*1cm。基片上有一层很薄很薄的铬，完全可以忽略，金膜溅射在铬上的，厚度约50nm左右，我们想比较准确测量一下其厚度，误差 1-3nm以内吧。误差5－10nm左右呢？？？示意图如下

原文由 sartre 发表:
贴个EDXRF实测数据吧

镀层厚度测定
样品：Cu 板上镀Ni ,再度 Au
条件：20KV, Pd M 滤片 50秒
样品号 次数 元素 厚度 (单位)
1        1  Au  467 Å
          Ni  3.38 μm
        2  Au  462 Å
          Ni  3.45 μm
        3  Au  460 Å
          Ni  3.39 μm

原文由 hmzhou83 发表:
我不是很清楚哪个版块有技术可以解决这个问题，估计电镜也许可以，所以先发在这个版块，要是有其他版块有此项技术请告知一下，我再转发。谢谢！


我们需要测量的金膜是溅射在玻璃基片上的。玻璃基片约0.5mm厚，大小约1cm*1cm。基片上有一层很薄很薄的铬，完全可以忽略，金膜溅射在铬上的，厚度约50nm左右，我们想比较准确测量一下其厚度，误差 1-3nm以内吧。误差5－10nm左右呢？？？示意图如下

原文由 sartre 发表:
贴个EDXRF实测数据吧

镀层厚度测定
样品：Cu 板上镀Ni ,再度 Au
条件：20KV, Pd M 滤片 50秒
样品号 次数 元素 厚度 (单位)
1        1  Au  467 Å
          Ni  3.38 μm
        2  Au  462 Å
          Ni  3.45 μm
        3  Au  460 Å
          Ni  3.39 μm

原文由 hmzhou83 发表:
我不是很清楚哪个版块有技术可以解决这个问题，估计电镜也许可以，所以先发在这个版块，要是有其他版块有此项技术请告知一下，我再转发。谢谢！


我们需要测量的金膜是溅射在玻璃基片上的。玻璃基片约0.5mm厚，大小约1cm*1cm。基片上有一层很薄很薄的铬，完全可以忽略，金膜溅射在铬上的，厚度约50nm左右，我们想比较准确测量一下其厚度，误差 1-3nm以内吧。误差5－10nm左右呢？？？示意图如下

原文由 yijian_zq 发表:

原文由 sartre 发表:
贴个EDXRF实测数据吧

镀层厚度测定
样品：Cu 板上镀Ni ,再度 Au
条件：20KV, Pd M 滤片 50秒
样品号 次数 元素 厚度 (单位)
1        1  Au  467 Å
          Ni  3.38 μm
        2  Au  462 Å
          Ni  3.45 μm
        3  Au  460 Å
          Ni  3.39 μm

原文由 hmzhou83 发表:
我不是很清楚哪个版块有技术可以解决这个问题，估计电镜也许可以，所以先发在这个版块，要是有其他版块有此项技术请告知一下，我再转发。谢谢！


我们需要测量的金膜是溅射在玻璃基片上的。玻璃基片约0.5mm厚，大小约1cm*1cm。基片上有一层很薄很薄的铬，完全可以忽略，金膜溅射在铬上的，厚度约50nm左右，我们想比较准确测量一下其厚度，误差 1-3nm以内吧。误差5－10nm左右呢？？？示意图如下

不是拿EDXRF来做的...要用光衍射的原理来测量!

原文由 hb-hd-wy 发表:
对于测量玻璃作为基材的产品，EDXRF应该不是很好用的，0.5mm的玻璃会被X射线穿透，如果要在玻璃下面在垫上一块金属的话，EDXRF又不能够测量到氧元素。楼主提到的是玻璃上镀了金膜，如果在玻璃上加的CR足够厚的话，EDXRF是可以进行测量的。EDXRF比XPS或者SEM+FIB可要省很多钱呢，建议楼主到XRF版面提问。

原文由 sartre 发表:
贴个EDXRF实测数据吧

镀层厚度测定
样品：Cu 板上镀Ni ,再度 Au
条件：20KV, Pd M 滤片 50秒
样品号 次数 元素 厚度 (单位)
1        1  Au  467 Å
          Ni  3.38 μm
        2  Au  462 Å
          Ni  3.45 μm
        3  Au  460 Å
          Ni  3.39 μm

原文由 hmzhou83 发表:
我不是很清楚哪个版块有技术可以解决这个问题，估计电镜也许可以，所以先发在这个版块，要是有其他版块有此项技术请告知一下，我再转发。谢谢！


我们需要测量的金膜是溅射在玻璃基片上的。玻璃基片约0.5mm厚，大小约1cm*1cm。基片上有一层很薄很薄的铬，完全可以忽略，金膜溅射在铬上的，厚度约50nm左右，我们想比较准确测量一下其厚度，误差 1-3nm以内吧。误差5－10nm左右呢？？？示意图如下