主题：【讨论】关于投影镜对中

原文由 drizzlemiao 发表:
中间镜像散确实是存在的。这个调整不做，衍射斑就不是圆的。2010键盘下面的INT按钮就是管这个的。从电流值的变化也可以看出，这个调整改变的确实是中间镜消像散器的电流。
透镜间的对中要么使用偏转线圈（比如大家熟悉的光斑对中，需要偏转线圈才能实现），要么就做硬件的物理移动。但是中间镜没有偏转线圈，也不能机械移动，所以用户是无法做物镜和中间镜对中调整的。
我再把我的意思说得清楚一些。我完全不担心偏离，斜入射光对中间镜成像以及最终图像质量的影响。我指的是光线平行物镜光轴入射的时候，图像中心就是物镜光轴。如果中间镜存在水平偏离，那么最终观察到的图像中心不会静止。如果把这个点调静止了。表观上我们得到了一个良好的电压中心，但实际上光束已经偏离物镜光轴了，这会影响“物镜”成像（这时候光束应该也不是平行于中间镜光轴的，但是我们可以忽略这种影响）。不知道这种效应有多大，但是应该可以实验验证。先调电压中心，这个时候光束应该是平行于物镜光轴的。然后观察电压中心。如果有移动，我觉得这种移动就应该是照明，物镜，放大系统间的不对中造成的。这个最好在FEI的电镜上做。对于日本电子的机器，至少2010的电流中心调整不够灵敏，恐怕不好用。
再说说我在2010F上观察的结果。从1M到40k，图像偏离非常小，完全可以忽略。过程中各偏转线圈的值也没有变化。从200cm到8cm，衍射斑沿一个方向偏离超过10cm，过程中各偏转线圈的值也没有变化。比较明显的是TEM和Diff切换的时候，最大的变化是第一和第二中间镜。而且切换时每次回到TEM不像都和原来一样，但是每次回到Diff衍射斑都和前次有所差别。我猜组装的时候是以TEM为衡量标准的，但是多个中间镜之间很难完全对中好，所以对中调整只能顾着TEM，顾不了衍射了。

原文由 zdlkkk 发表:
Image shift coil 是可以合轴的，只是一般基本合轴的时候大家不做。这个线圈的合轴就是在衍射模式下做的，开image shift coil wobble 用DEF X Y 旋钮把透射斑调稳。但即使调好了，衍射模式下还是会出现不同相机常数下跑偏的现象，理论上讲应该不会跑很多，现实和理论总是有差别的：）。针对日本电子的机器说下怎么调。

２１００　和　３０１０以及２０１０的按钮位置不一样。

老电镜一般在键盘下边的一片按钮里面（找带有金属扳钮的），beam tilt 和　image shift 线圈的调节在一起。注意，前者在像模式下电子束会聚后调整，后者在衍射模式下根据投射斑调整。这个调整的wobble 有点繁琐，因为ｘ方向和ｙ方向要分别调整。也就是说image shift coil　的调整要调两次，方别针对ｘ和ｙ。在调整ｘ方向的时候，只使用shift ｘ，ｙ方向的时候只使用shift－ｙ(这里的shift旋钮都是在右手边的键盘下边的)。由于我手上没有照片，身边也没有电镜，相信怎么也说不了太明白。所以细节请找工程师帮忙。beam tile 的调整主要的区别就是wobble的选择不一样，调节旋钮用tilt X Y (一般在shift x y 附近或下边)。

新电镜在电脑上可以找到这一项，在ＤＥＦ和ｗｏｂｂｌｅ的控制选项里面。相信工程师应该是知道的。

我身边也没有电镜，所以只希望我没有把哪个按钮名字写错。

原文由 iamikaruk 发表:
那么这么说来，衍射模式下的偏移主要是由于物镜-中间镜的对中没有做好，而不是中间镜与投影镜之间的对中没有做好了？

原文由 drizzlemiao 发表:

原文由 iamikaruk 发表:
那么这么说来，衍射模式下的偏移主要是由于物镜-中间镜的对中没有做好，而不是中间镜与投影镜之间的对中没有做好了？

这个我觉得要具体问题具体分析。老型号的电镜，光路相对简单，衍射的便宜主要是考虑中间镜和投影镜之间的对中。你查查200CX的手册，上面有这个调整。但是新型电镜结构复杂多了。比如2010有三个中间镜，你说它们到底算中间镜呢？还是算投影镜？这个概念就比较模糊。而且，它们之间的对中是预先设定的，还不可调。

原文由 drizzlemiao 发表:
200CX可以做机械对中，要用到六角扳手。这个没有写到常用操作里，但是能在那个大厚本子里找到。有兴趣你可以考古一下。哈

原文由 drizzlemiao 发表:
在过去的电镜上，这种调整是对中衍射谱的标准操作，可以保证变换相机常数衍射移动很小。你问问朱老师，ASU的六角扳手是直接用绳子栓在镜筒上的，就是为了方便使用。呵呵
现在的电镜没有这个操作，一是因为结构太复杂，用户操作不当可能有反效果，二就是工厂装配精度已经很高，他们认为不再需要用户自己做机械调整。