主题：【求助】关于等离子清洗处理时各参数之间的关系

等离子原理概述：等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下可以以第四中状态存在，如地球大气中电离层中的物质。这类物质所处的状态称为等离子体状态，又称为物质的第四态。等离子体中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；分子解离反应过程中生成的紫外线；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

    等离子清洗/刻蚀技术是等离子体特殊性质的具体应用。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应。

等离子清洗在COG-LCD组装技术中的应用
    LCD的COG组装过程，是将裸片IC贴装到ITO玻璃上，利用金球的压缩与变形来使ITO玻璃上的引脚与IC上的引脚导通。由于精细线路技术的不断发展，目前已经发展到生产Pitch为20μm、线条为10μm的产品。这些精细线路电子产品的生产与组装，对ITO玻璃的表面清洁度要求非常高，要求产品的可焊接性能好、焊接牢固、不能有任何有机与无机的物质残留在ITO玻璃上来阻止ITO电极端子与IC BUMP的导通性，因此，对ITO玻璃的清洁显得非常重要。在目前的ITO玻璃清洁工艺中，大家都在尝试利用各种清洗剂（酒精清洗、棉签＋柠檬水清洗、超声波清洗）进行清洗，但由于清洗剂的引入，会导致由于清洗剂的引入而带来其他的相关问题，因此，探索新的清洗方法成为各厂家的努力方向。通过逐步的试验，利用等离子清洗的原理来对ITO玻璃进行表面清洁，是比较有效的清洁方法。
    在对液晶玻璃进行的等离子清洗中，使用的活化气体是氧的等离子体，它能除去油性污垢和有机污染物粒子，因为氧等离子体可将有机物氧化并形成气体排出。它的唯一问题是需要在去除粒子后加入一个除静电装置，其清洗工艺如下：
    吹气－－氧等离子体－－除静电
　　
    通过干式洗净工艺后的LCD及其电极端子ITO，洁净度、粘结性得到大大改善。
    下面是经过等离子清洗前后的效果差别
    1.使用设备：等离子大气压等离子清洗机；气体:无油干燥空气
    2.将20pcs IC Bump向上放置（粘在黄胶纸上），进行Plasma清洗，然后再将IC正常热压到LCD上，进行测试，观察产品显示状况。
    3.将23pcs显示白条，并且未封硅胶的产品，进行Plasma清洗，然后再测试，观察白条显示状况。
    4.取2pcs显示OK的产品，在同一位置裸露的ITO上沾上汗渍（不戴手套，直接戴手指套，约15分钟后手指套内的汗渍），将其中1pcs进行Plasma清洗，然后产品一起通电，观察腐蚀状况（车间温度管控范围:22℃+/-6℃，湿度控制范围55％+/-15％）。
    产品A经过等离子清洗；产品B不进行等离子清洗。通过连续的通电实验（200小时）后，情况如下：产品A在通电71.5H时出现第一条缺线，通电77H时出现第二条缺线； 而产品B在通电4.5H时，显示缺四条线。
    从上面的实验数据可以看出：
    1、等离子清洗时产生的静电不会对产品造成不良；
    2、等离子可清洗ITO表面的微量导电脏污，可以改善由于漏电导致的白条现象；
    3、等离子清洗可以降低被污染产品的腐蚀速度和腐蚀程度。
    从上面的原理分析及实验数据可以得出： 等离子清洗可用于LCD玻璃及LCD—COG半成品玻璃组装过程的清洗，来改善产品的质量及其稳定性。

还是要看具体情况,在保证真空度达到要求及保持真空度、温度等参数一致的情况下，实验得出工艺气体配比和反应时间对结果的影响。

核桃回答的够详细