主题:【讨论】请教EDS测量与样品的高度关系

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refe971
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请教各位,做EDS分析时,样品是不是一定要正焦,样品位置过低或过高会有什么影响,是不是会使测量不准. 小量的欠焦影响大不大.谢谢
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penguinle
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EDS的interaction volumn 本来就比较大,所以即使不是focus,问题也不大
refe971
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原文由 penguinle 发表:
EDS的interaction volumn 本来就比较大,所以即使不是focus,问题也不大


谢谢回复,明白了如果不是in forcus的话电子束与样品的interaction volumn 变大,分辨率会低.
因为EDS探头的位置是固定的,我想设计时会把正焦时的信号收集率最优化,问题是欠焦时将低信号强度,不同元素的信号比会不会变化.
tygk98
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refe971
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我试了一下如果样品位置过高的话(约>120um)就测不到样品的信号,以前都没注意到这个问题
tygk98
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beijingsem
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原文由 refe971 发表:
请教各位,做EDS分析时,样品是不是一定要正焦,样品位置过低或过高会有什么影响,是不是会使测量不准. 小量的欠焦影响大不大.谢谢


如果想做准确的定量分析,最好是正焦并且在能谱仪的最佳接受位置。
michael-zhu007
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EDS分析本身就是半定量的,对于原子序数比较小的元素含量测量会存在较大的偏差。准确的定量分析,需要把WDS和EDS结合起来。
refe971
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原文由 tygk98 发表:
你怎样知道是大于120um ?


这个值不准确,应该说是个相对值,把刚放入样品的位置记为O,改变Z到120um.
蓝莓口香糖
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120um并不大。我的样品每次都是-280左右才聚焦,用EDS完全没问题。你的电镜什么极靴?倾转范围多大?倾转台是否校正好了?采谱的时候是不是把样品转到要求的角度了?
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