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主题：【原创】请教，icp-ms测多晶硅中的金属杂质

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41926912
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发表于：2009/10/29 12:16:30 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2009/10/29 12:37:27 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2009/10/31 10:40:43 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 41926912(41926912) 发表:
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多晶硅表面金属杂质分析有SEMI标准；体金属杂质目前尚无ICP-MS的分析标准，方法仍在探索之中，SEMI应该是已经颁布了GD-MS或者SIMS的分析标准。
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