原文由 风起云飘舞(zhckj) 发表:
报错信息是连续的四个,是常见的,仪器工程师说那是经常出现的错误信息,一般查不出原因的,下次记下来发上去。
原文由 nps(nps) 发表:原文由 风起云飘舞(zhckj) 发表:
报错信息是连续的四个,是常见的,仪器工程师说那是经常出现的错误信息,一般查不出原因的,下次记下来发上去。
老飘,我帮你发上来吧,昨天正好遇到了这个现象:
#1213 Error: RF48V power voltage is too low.
#1218 Error: Plasma was shut off.(Plasma RF Monitor)
#1220 Error: Plasma was shut off during Analysis.(Vac)
#1141 Error: Gate valve is closed due to an error while in Analysis Modle.
顺便把我的解决办法说说:
1、确认供电是否有问题,电话询问调度及电力监控台,是否发现电压异常状况,排除;
2、确认氩气供应压力是否剧烈波动,排除;
3、(最常用及最有效的一招),判断有可能某些部位轻微漏气,把雾化室、雾化器、炬管各连接处,炬管进气连接处统统拆送,再逐一拧紧上好。
吹气五分钟后再次点火,成功,未再发生熄火状况。
原文由 nps(nps) 发表:原文由 风起云飘舞(zhckj) 发表:
报错信息是连续的四个,是常见的,仪器工程师说那是经常出现的错误信息,一般查不出原因的,下次记下来发上去。
老飘,我帮你发上来吧,昨天正好遇到了这个现象:
#1213 Error: RF48V power voltage is too low.
#1218 Error: Plasma was shut off.(Plasma RF Monitor)
#1220 Error: Plasma was shut off during Analysis.(Vac)
#1141 Error: Gate valve is closed due to an error while in Analysis Modle.
顺便把我的解决办法说说:
1、确认供电是否有问题,电话询问调度及电力监控台,是否发现电压异常状况,排除;
2、确认氩气供应压力是否剧烈波动,排除;
3、(最常用及最有效的一招),判断有可能某些部位轻微漏气,把雾化室、雾化器、炬管各连接处,炬管进气连接处统统拆送,再逐一拧紧上好。
吹气五分钟后再次点火,成功,未再发生熄火状况。