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主题：【求助】ICP-OES在多晶硅中的应用

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duanzhi
duanzhi
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2011/7/20 9:46:27 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我就用OES做过三氯氢硅，做出来了。
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洛神的忧伤
waterecho
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2016/1/13 16:49:32 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 duanzhi(duanzhi) 发表:
我就用OES做过三氯氢硅，做出来了。
请问老师，多晶硅如何消解的？ICP-OES可以做吗？
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xs1989731
xs1989731
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2016/1/20 10:09:37 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主是做多晶硅啊，那单晶硅用ICP-OES能测什么啊，也是金属离子吗
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