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主题：【求助】什么是压差光阑？

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sunzhaod
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发表于：2010/02/19 20:09:59 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问一下环境扫描电镜中的压差光阑是怎么一回事？它的工作原理是什么？
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2010/2/21 1:00:27 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20050815/208818//index_3.shtml里有一点讨论：在FEI的环境扫描电镜（ESEM）中，还有一种称为压差光阑。它处于样品室与镜筒之间，允许电子束通过，同时保证镜筒内较高的真空。
因环扫时样品室压力升高，但电子枪压力仍必须保持高真空，这就形成了压力差，压差光栏起到这个作用。
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sunzhaod
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2010/2/21 10:06:12 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢了！但是还搞不清用的什么材料！能让电子束通过，气体分子却不行。
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蓝莓口香糖
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2010/2/24 22:49:07 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
其实就是镜筒上的一个洞。镜筒内部并不象外面看起来那么大，在镜筒和样品室直接的连接部位开口很小，刚好能让电子束穿过。气体当然也可以从这里畅通无阻，但是因为开口小，所以扩散速度比较慢，在配合连续工作的抽空设备，可以造成开口一侧真空很好，而另一侧真空度不那么好。我们习惯了把aperture翻译成光阑，其实aperture的基本意思就是“洞”。
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heihei727
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2010/2/26 22:06:35 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
其实就是镜筒上的一个洞。镜筒内部并不象外面看起来那么大，在镜筒和样品室直接的连接部位开口很小，刚好能让电子束穿过。气体当然也可以从这里畅通无阻，但是因为开口小，所以扩散速度比较慢，在配合连续工作的抽空设备，可以造成开口一侧真空很好，而另一侧真空度不那么好。我们习惯了把aperture翻译成光阑，其实aperture的基本意思就是“洞”。

厉害，解释的这么通透清楚
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syning90
syning90
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2010/3/8 13:38:47 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
其实就是镜筒上的一个洞。镜筒内部并不象外面看起来那么大，在镜筒和样品室直接的连接部位开口很小，刚好能让电子束穿过。气体当然也可以从这里畅通无阻，但是因为开口小，所以扩散速度比较慢，在配合连续工作的抽空设备，可以造成开口一侧真空很好，而另一侧真空度不那么好。我们习惯了把aperture翻译成光阑，其实aperture的基本意思就是“洞”。

高手高手，解释的很专业，补充一下，这个压差光阑也确有其物，是一个很小的金属圆片，中间有一个直径在300微米左右的小洞，作用正如蓝莓口香糖(drizzlemiao)所说。安装在光路的最下端，一般位于背散射探头之上。
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