主题:【求助】EDS框选的采集速率远小于点选

浏览0 回复12 电梯直达
saj
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做了个实验,在用analyser分析Al 座样品台(即在SEM屏幕上用spot和reduced扫描样品),能谱的AR,DT正常;用point id采图到能谱后,用能谱软件上spot 分析时AR,DT也正常,而在用框选时AR降为点选时的一半不到,DT正常,不知是何原因?
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fengyonghe
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Reduced 和AR是什么意思?这种问题一定要把谱图发上来。
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2010/4/14 4:43:00 Last edit by fengyonghe
huangtao0307
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各家設備可能不一樣﹐你最好說下你的設備型號是什么﹖
然后把具體的問題點拉上來看看
saj
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Reduced: 是指选择样品图像上某一区域进行扫描和采集, 而非全屏扫描和采集.
AR: Acquisition Rate, 能谱的采集速率.
会不会与电子枪不对中有关系?因为发现SE图像是左上角亮,右下角暗,再调了X,Y aperture及Gun tilt和shift后都无法消除明暗差异。
永远的菜鸟
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fengyonghe
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原文由 saj(SAJ) 发表:
Reduced: 是指选择样品图像上某一区域进行扫描和采集, 而非全屏扫描和采集.
AR: Acquisition Rate, 能谱的采集速率.
会不会与电子枪不对中有关系?因为发现SE图像是左上角亮,右下角暗,再调了X,Y aperture及Gun tilt和shift后都无法消除明暗差异。


1        不知你的样品是否有残余磁性,如果是,会造成“明暗差异”。可以换其他样品一试,若“明暗差异”消失,说明是样品的问题。

2        还是要把谱图发上来,如若你不能直接发上来(声望小于50)可以先发到1367309211@qq.com 我觉得有用,我替你发到网上。

3        Reduced收谱称作“选区扫描”,在这个谱图中是否出现了你不需要的谱峰,同时它又是最高的,如果是,那有用的谱峰就会降低。
saj
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问题解决了.

原来是能谱的Mics和X-stream之间的连接不好.

将两者之间的连接线CAS bus换接到其他相同的接口,选区扫描的AR明显回到正常速率了。

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2010/4/15 10:43:00 Last edit by SAJ
fengyonghe
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恭喜你已经解决了问题,看到你发上来的谱图有另外一个问题,零位峰太高。这表示鉴别器需要校准。鉴别器校准后零位峰的计数率应该在350400之间。它与元素谱峰之间的关系大致如下图所示。
saj
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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
恭喜你已经解决了问题,看到你发上来的谱图有另外一个问题,零位峰太高。这表示鉴别器需要校准。鉴别器校准后零位峰的计数率应该在350400之间。它与元素谱峰之间的关系大致如下图所示。


您说的鉴别器需要校准,是不是就意味着探头结霜了,需要做下除霜(conditioner)? 然后再校准鉴别器?
fengyonghe
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这个不是探头结霜的判定标准,零位峰过高是需要运行“仅鉴别器校准”的判定标准。

按下面的操作选择“Discrimination only”
syning90
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