主题:【求助】薄膜的残余应力测定

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humingmei2009
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请问有没有哪位了解薄膜残余应力的测定?本人现在急需做这方面的测试,就是不了解全国哪里有比较完善的设备和配套数据处理软件。十分感谢您的帮助!
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jidzhang
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建议查一下哈工大费维栋老师的资料,他是这方面的专家。
humingmei2009
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jidzhang
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