主题:【原创】tof-sims质谱解析

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xgq_2001
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我们知道质谱分析最重要的部分就是解析图谱,如何解析二次离子质谱呢?好像很困难,因为目前关于二次离子质谱的数据并不多。本人综合总结了培训过程中所学一点经验给大家分享;
1。二次离子质谱分为两种,一种动态二次离子质谱(DSIMS),如CAMECA公司生产的IMS-xf系列,一种静态二次离子质谱(S-SIMS),如ULVAC-PHI公司生产的nano-TOF系列。动态和静态区分的标准时入射离子的计量,当>10^12ions/cm^2称为动态-SIMS,小于这个数值,称为S-SIMS.动态-SIMS主要用作半导体器件痕量元素的深度分析,以及矿物用同位素定年。要求样品导电性要好,静态-sims主要用于表面成分分析,如有机物,无机物分析,且可以分析分子碎片,并可以使其成像(2D,3D)。

2。全部同位素解析,根据同为个数,和自然界的丰度,半段谱峰对应的元素,同时也可以考虑一般谱峰都是带一个电荷的离子,通过查元素周期表就可以确认他们存在与否。

(未完待续)
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原文由 xgq_2001(xgq_2001) 发表:
我们知道质谱分析最重要的部分就是解析图谱,如何解析二次离子质谱呢?好像很困难,因为目前关于二次离子质谱的数据并不多。本人综合总结了培训过程中所学一点经验给大家分享;
1。二次离子质谱分为两种,一种动态二次离子质谱(DSIMS),如CAMECA公司生产的IMS-xf系列,一种静态二次离子质谱(S-SIMS),如ULVAC-PHI公司生产的nano-TOF系列。动态和静态区分的标准时入射离子的计量,当>10^12ions/cm^2称为动态-SIMS,小于这个数值,称为S-SIMS.动态-SIMS主要用作半导体器件痕量元素的深度分析,以及矿物用同位素定年。要求样品导电性要好,静态-sims主要用于表面成分分析,如有机物,无机物分析,且可以分析分子碎片,并可以使其成像(2D,3D)。

2。全部同位素解析,根据同为个数,和自然界的丰度,半段谱峰对应的元素,同时也可以考虑一般谱峰都是带一个电荷的离子,通过查元素周期表就可以确认他们存在与否。

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xgq_2001
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原理:
  采用脉冲一次离子源(LMIG, Cs, C60,Au,O2+,Ar+)等轰击样品,然后收集从样品表面激发出来的二次离子,采用质谱检测器(飞行时间、四极杆、扇形磁过滤、离子阱等),来收集这些二次离子,并且根据他们的质荷比(m/z)将它们分离,据此来判断分析材料的成分。
    
分类
  二次离子质谱仪分为静态- 二次离子质谱仪(S-SIMS) 和动态二次离子质谱仪(D-SIMS) ,其区分的标准就是根据入射的一次离子的剂量一般<10^12atoms/cm2,成为静态二次离子质谱仪,一般采用飞行时间检测器,主要用于生物医药的有机物分析,半导体材料的污染物分析,存储材料分析,可以坚定有机的分子碎片。在分析过程中,材料表面的吸附物质及化学状态,对谱峰影响巨大。这也就是二次离子质谱中的“基体效应”。静态-二次离子质谱是一种无破坏的表面分析方法。最常见的静态- 二次离子质谱仪是飞行时间二次离子质谱仪。
    动态-二次离子质谱仪,入射的一次离子的剂量一般<10^15atoms/cm2,对表面形成大量的溅射作用,是一种破坏性分析,主要用于地质研究,同位素定年分析,半导体掺杂的深度分析。主要采用的一次离子源为气体等离子源(Ar/O2)或Cs离子源,一般要求样品导电性要好。
(未完待续)
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