原文由 驰奔(srd2009) 发表:
多说一下真空系统配置。
一般”高档“扫描电镜都配有全量程真空规,即低真空规+高真空规。真空泵和逻辑阀门按照真空规提供的数据指令反应动作,操作者基本上时刻确切知道真空度。这里高档是带引号的,也特指涡轮分子泵真空系统。全量程真空监测,有利于保护比较贵而脆弱的涡轮分子泵万无一失。
油扩散泵比较皮实,单机价格相对低的多,工作原理注定了其真空效率是固定的,往往不需严格保护和测量,高真空规在这里显得多余,还费钱。更重要的是,高真空规一般使用潘宁规,在扩散泵真空系统中容易污染,实际真空度越来越低,但给电器的指令确是已经达到,造成真空检测不准,反而对电镜有害。
也有油扩散泵采用全量程真空规,但这些厂商等到出了问题的时候会告诉你,潘宁规需要1年至少维护一次(用户往往没有维护经验)或者建议用户直接换新的。把真空规当做耗材来卖。
基于以上原因,传统扩散泵真空系统电镜都不配置高真空规,而是采用一级低真空规,低真空达到后启动扩散泵抽高真空,工作真空度是否到达,只需用延时器模拟控制即可。
楼主的电镜一定是真空延时电路了问题。如果工程师过去,可能一刻钟就给你弄好了。
工程师过来调节了一下电路电位:现在pre-evac时间:4分钟,evac时间:50s左右,现在可以正常使用。
但是还得测量一下实际的真空度,因为自我感觉图像噪音比以前明显了,但是如果用scan3.或者scan4时,效果还可以。
谢谢驰奔大侠的分析,很是受用。