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主题：【讨论】场发射的真空就这么牛？

浏览0 回复22 电梯直达
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发表于：2010/09/21 08:32:57 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有朋友让我做几个样品，要求是先用电子束（最好是EDS模式）对一个点进行1分钟的大电流密度辐照，而后一般就会产生一个污染斑，而后倾转样品，使污染斑变成两个，测量二者间距和倾转角，可以得到样品的大致厚度。

问题是：俺们的2100F用EDS模式下打了两分钟压根也没见到污染斑，而他说LaB6的2000FX在EDS模式下，1分钟就轻松搞定。那么难道是场发射的真空太好了？楞没有表面污染？还是LaB6的电子束流密度其实远比FE要高的多？

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2010/9/21 9:12:16 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是样品太干净了吧？
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天黑请闭眼
shxie
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2010/9/21 9:17:01 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
双喷样品，看起来的确比较干净，可朋友说他看样品也没啥特殊处理啊。难道是样品放置于空气中的时间太短？
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yangruirui
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2010/9/21 10:01:25 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
先用电子束（最好是EDS模式）对一个点进行1分钟的大电流密度辐照，而后一般就会产生一个污染斑，而后倾转样品，使污染斑变成两个，测量二者间距和倾转角，可以得到样品的大致厚度。

这样真的可以测量出样品的厚度吗？我以前试过2100F在EDS模式下是可以打出污染斑的。
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天黑请闭眼
shxie
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2010/9/21 10:36:20 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不太熟悉，好像某本书里面有用这个方法的，也有用迹线法，但首先也要造污染点。
我们也是2100F，普通碳膜不用EDS模式也能造污染斑，可他的样品不知道为什么一点迹象都没有，是不是聚焦不对劲？
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sendtony6
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2010/9/22 20:36:40 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
量試片厚度不是這樣量的...

看到快昏倒...

量試片厚度可以用計算thickness fringes

或是 CBED , EELS等方式去計算~

絕對不是你朋友說的那樣~
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sendtony6
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2010/9/22 20:38:02 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
此外~EDS mode是analysis mode

電子束本來就非常弱...

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iamikaruk
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2010/9/22 20:41:20 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
EDS模式下束流密度可不弱
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蓝莓口香糖
drizzlemiao
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2010/9/22 20:48:29 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这是估算样品厚度的方法是有的。
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sendtony6
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2010/9/22 21:12:53 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
小弟才疏學淺...不曉得那一位天才想出來的...

(或是有那一本書中有提到此法)

就我所知~試片厚度似乎不是用這麼粗糙的方式

去量測

回到問題...

如果你硬要打出痕跡~很簡單~把所有的aperture拿掉~

直接轟試片~

回某樓...

EDS mode的電子束是聚焦束~通常beam大小只有1~5 nm

一定比image mode還弱~

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蓝莓口香糖
drizzlemiao
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2010/9/22 21:41:19 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不同的测量方法有不同的精度和适用范围，使用时也需要知道一些必要的参数。很多时候只需要对厚度做粗略估算，不需要得到很精确的数值，或者其它方法需要的出参数无法得到。关于用污染斑的方法，可以参考David Williams的书第一版629页，或者第二版670页。拿掉所有光阑直接轰击是做Beam Shower方法，这样得不到污染斑，反而可能越轰越干净。EDS模式是聚焦束，会损失一部分束流，但是光斑很小，所以束流密度反而比普通模式大。
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