原文由 threedaysin 发表:
谁家的机器也是JEC-560的喷碳仪吗?
我最近刚开始用喷碳的,以前一直喷金,可是我怎么也喷上碳
按照操作说明,把电压设为4,时间设为5s,然后等真空降至5以内,就开始喷
但是喷不上,样品表面没有黑黑的,而且放到sem里看,根本看不清楚
帮帮我吧,谢谢了
这不是什么大问题,应该是操作的熟练程度问题,仔细检查总能解决。我只说明一下:碳棒的削制形状不是愈尖愈好。为什么呢?
据我所知:日本JOEL等喷碳仪(蒸发镀碳仪)一般是要求象削铅笔一样的圆锥形;而英国EMITECH等蒸发镀碳仪则要求是台阶形状,即如果用3mm直径碳棒,就应该把端部一定长度范围内刨削成1.6mm直径圆柱状,这样一来可保证烧损蒸发是全过程稳定进行的。参照这个原理,圆锥形的在削制时应该注意“铅笔尖”的处理,并不是愈尖愈好,而是将这个尖部用1000目或1200目金相砂纸磨成一小段细圆柱状,并且将最尖部磨成平的端面便于和另一碳棒(每次蒸镀,其端面也必须重新磨平)端面保持良好接触。因为,通过圆锥尖部的电流密度与横截面面积成反比,为了得到精细而均匀的碳膜,在相对稳定的电流密度下完成蒸发才是合理的。经验之谈,仅供参考。
另外,还要注意,
1.在正式蒸发镀膜前需要对碳棒进行小电流除气(暗红色)处理,除气处理应该把挡板挡住样品。
2.除了使用碳棒外,还可以使用碳丝编成的碳绳。
3.碳棒优点是能得到更精细碳膜,缺点是热容量大,在蒸镀完成并卸掉真空后不能立即更换或处理碳棒,因为太烫,一般应等20分钟左右让碳棒冷却下来,注意安全哦,别烫坏了你的手!而碳丝工作时间很短,属于FLASH,闪蒸,加之热容量很小,就没有“烫手”的安全问题,可立即更换,不需等待时间。正由于此原因,大家往往更偏爱使用碳丝工作。
希望以上内容对你有所帮助。
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