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主题：【求助】有人熟悉晶体管的吗，帮我看看～～～～～～

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vivianoffwhite
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发表于：2010/10/23 12:17:32 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
新人一个，对半导体一窍不通。。。有没有大虾给讲解下。。就知道这个是45nm PMOS, 但什么是什么一点摸不清。。。
  • STI, well, and VT implants,
  • ALD (18-20Å) of HK gate dielectric,
  • polysilicon deposition and gate patterning,
  • source/drain extensions, spacer, Si recess and SiGe deposition,
  • source/drain anneal, Ni salicidation, ILD0 deposition,
  • poly opening CMP, poly removal,
  • pMOS work-function metal deposition,
  • metal gate patterning, nMOS workfunction metal deposition, and
  • metal gate Al fill and Al CMP, etch-stop layer deposition.

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