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主题：【求助】日电图片新手求助

浏览0 回复13 电梯直达
ssssss0527
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发表于：2010/11/20 01:51:54 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
本人是一名在校本科生，刚刚接触SEM一个礼拜，今天第一次自己独立看样品，是石墨烯，感觉很不清楚，不知道具体原因是什么，还望各位前辈多多指导，谢谢！
实验室用的是日电的6510LV。work distance 用的8mm，spot size 开始是55，后来慢慢调到30的。其他数据图上有标~~










这张是调过spot size的


我觉得这个已经很不清楚了


这个我自己都不知道是什么东西了。。。。
该帖子作者被版主 huangtao0307加 5积分， 2经验，加分理由：新手提问，鼓励
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2010/11/20 3:55:20 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
图像的毛刺应该是外界干扰，或者电路不稳定造成的。
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fengyonghe
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2010/11/20 7:54:07 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
加速电压用30千伏太高了。几个千伏足够了。
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ssssss0527
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2010/11/20 10:39:42 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果是uote]原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
图像的毛刺应该是外界干扰，或者电路不稳定造成的。

如果是电路问题的话，怎样可以消除呢？
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2010/11/20 10:43:45 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
加速电压用30千伏太高了。几个千伏足够了。


谢谢冯老师的回复，不过还是不大明白。弱弱的问一下，貌似书上说加速电压的大小与分辨率的高低呈正相关。那我现在用30kv都看不清，用5kv不是更看不清了？
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linzq
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2010/11/20 13:53:27 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 ssssss0527(ssssss0527) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
加速电压用30千伏太高了。几个千伏足够了。


谢谢冯老师的回复，不过还是不大明白。弱弱的问一下，貌似书上说加速电压的大小与分辨率的高低呈正相关。那我现在用30kv都看不清，用5kv不是更看不清了？

高加速电压可以获得较细的电子束，而图象分辨率的影响因素太多。一般来说较低的加速电压可以获得较多的表面信息，而且信号弥散要小。所以可以获得更清晰点的图片。但是对于有些由重金属元素（比如金）对电子束弥散要小很多的样品较高一点的加速电压也会带来比较高的分辨率。信号强一点，电子束细一点呀。不过现在基本都是用5KV了，因为仪器接受信号的能力都比较强了。而且5KV以后电子束的直径变化不大了
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ssssss0527
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2010/11/21 0:50:04 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
高加速电压可以获得较细的电子束，而图象分辨率的影响因素太多。一般来说较低的加速电压可以获得较多的表面信息，而且信号弥散要小。所以可以获得更清晰点的图片。但是对于有些由重金属元素（比如金）对电子束弥散要小很多的样品较高一点的加速电压也会带来比较高的分辨率。信号强一点，电子束细一点呀。不过现在基本都是用5KV了，因为仪器接受信号的能力都比较强了。而且5KV以后电子束的直径变化不大了

谢谢林老师！
您是论坛里里元老级专家，刚才看了您其他的一些帖子，感觉收获很大。不过您讲的比较多的是场发射的电镜，像4800。我用的比较低级，是钨灯丝的6510，不知道他们在参数的设定上是不是有很大区别？我感觉自己用5kv时候放高倍确实不是很清楚。是不是我其他的条件上有问题？像电压我看您多用是5kv，work distance多是8mm。钨灯丝的是否也是这样呢？另外spot size在高倍的时候，根据您用钨灯丝的经验，大约多少合适呢？我调到20多的时候就觉得很难看清了~~
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linzq
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2010/11/22 9:14:03 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢林老师！
您是论坛里里元老级专家，刚才看了您其他的一些帖子，感觉收获很大。不过您讲的比较多的是场发射的电镜，像4800。我用的比较低级，是钨灯丝的6510，不知道他们在参数的设定上是不是有很大区别？我感觉自己用5kv时候放高倍确实不是很清楚。是不是我其他的条件上有问题？像电压我看您多用是5kv，work distance多是8mm。钨灯丝的是否也是这样呢？另外spot size在高倍的时候，根据您用钨灯丝的经验，大约多少合适呢？我调到20多的时候就觉得很难看清了~~

钨灯丝我没有操作过，不过我见过一些高手（比如南京的沈浩赢）用过也是用的5KV来做的。只是日立3000N系列的双偏压系统使得仪器在低电压状态运行时提高了发射电流，日电没有要手动调整，虽然说：束流变大不利于高分辨，可是这是要综合来看的。大束流带来比较好的信噪比虽然不利于分辨率可是综合起来可能效果会更加的好。钨灯丝的SPOTSIZE，很不好意思我没有充分接触过不好对你乱说。不过明后年我们学校可能会进一个钨灯丝到时候我再把我的体会向大家汇报
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小M
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2010/11/24 20:49:20 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那个毛刺状的东西，是不是因为spotsize比较大，分辨不清楚引起的
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fengyonghe
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2010/11/26 23:28:16 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看你三万倍照片，拍的又是超轻元素图像，对钨灯丝扫描电镜来说已经很不错了。
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回龙之神
zgxclfznj
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2010/11/29 15:28:16 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
确实不是很清楚，
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