专类测量工具 用于测量某一类几何参数、形状和位置误差(见形位公差)等的测量工具。它可分为:①直线度和平面度测量工具,常见的有直尺、平尺、平晶、水平仪、自准直仪等;②表面粗糙度测量工具,常见的有表面粗糙度样块、光切显微镜、干涉显微镜和表面粗糙度测量仪等(见表面粗糙度测量);③圆度和圆柱度测量工具,有圆度仪、圆柱度测量仪等(见圆度测量);④齿轮测量工具,常见的有齿轮综合检查仪、渐开线测量仪、周节测量仪、导程仪等(见齿轮测量);⑤螺纹测量工具(见螺纹测量)等。
专用测量工具 仅适用于测量某特定工件的尺寸、表面粗糙度、形状和位置误差等的测量工具。常见的有自动检验机、自动分选机、单尺寸和多尺寸检验装置(见自动测量)等。
基本组成 主要有已知长度、定位瞄准、放大细分和显示记录等部分。量规基本上只有已知长度部分。在一些量具、量仪中,这几部分也不是截然分开的,有的放大细分和显示实际上是一个部分,例如百分表类测量工具;有的瞄准、放大细分和显示等部分是一个部件,例如读数显微镜等。
已知长度部分 主要有两种形式:①经过长度计量的量值传递中的传递系统检定过的长度和角度,例如比长仪中线纹尺上的刻度,激光干涉仪中的激光波长,长、圆计量光栅上分别由密集线条组成的长度和角度,角度量块两测量平面间形成的角度等。②一些具有准确形状的几何量。例如平晶的光学测量平面,激光准直仪中的激光束,渐开线测量仪中由基圆盘、直尺机构产生的渐开线轨迹和由圆度仪精密轴系等形成的圆轨迹等。
定位瞄准部分 用于确定被测长度与已知长度的相对位置,使两者能正确地比较,从而得到准确的量值。有接触式和不接触式两种定位瞄准方法。
放大细分部分 把已知长度中的最小单位长度放大细分,使之能准确地分辨出已知长度与被测长度的微小差值,主要有机械、光学、气动、电学和光电等类型。①机械型:如采用斜楔、杠杆、齿轮、扭簧等的放大机构和利用游标原理的细分机构等。②光学型:如读数显微镜的显微镜光学系统、投影仪的投影光学系统和自准直仪的自准直光学系统等。③气动型:利用弹性元件、锥度玻璃管等分别将空气压力或空气流量转换放大以便于指示量值,主要用于气动量仪。④电学型:电子放大常用于以模拟量,例如以电压作为被测尺寸电信号输出的电学测微仪中;电子细分常用于以脉冲量输出电信号的测量系统,例如感应同步器、磁栅等测量系统中。⑤光电型:采用光学方法和电学方法先后将被测尺寸转换、放大、细分,以得到所需要的分辨率,常用于光栅测量系统(见光栅测长技术)、激光干涉仪、固体阵列测量系统(见长度传感器)等。