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主题：【求助】JSM-6701F问题请教

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wdwsnnu
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发表于：2011/02/21 17:11:58 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
JSM-6701F问题请教
我们单位09年购置的JSM-6701F场发射扫描电镜现在真空抽不上去，偶尔能抽上去但开机后几分钟真空又突然急剧下降，现在机子瘫痪一个多月了
请高手支招，多谢
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fengyonghe
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2011/2/21 17:39:12 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要弄清是哪一级真空上不去，按你说的情形是离子泵问题的可能性大。
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wdwsnnu
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2011/2/21 19:00:56 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
要弄清是哪一级真空上不去，按你说的情形是离子泵问题的可能性大。

多谢，我们已经检漏了排除漏气可能性，泵没问题，今天还抽到了最好状态，不过真空度很快又降下来了
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unht
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2011/2/23 19:40:15 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
还有这种情况．．．不清楚．．．
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2013/9/26 22:02:08 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电镜不能关机时间太长，不行的话就重新启动一下真空泵~~~试试~~~
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lizhenhua98
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2013/9/28 0:07:07 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
试试在密封圈上涂点真空硅脂吧，不要多涂。
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书生人家
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2013/10/15 10:07:16 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wdwsnnu(wdwsnnu) 发表:
JSM-6701F问题请教
我们单位09年购置的JSM-6701F场发射扫描电镜现在真空抽不上去，偶尔能抽上去但开机后几分钟真空又突然急剧下降，现在机子瘫痪一个多月了
请高手支招，多谢


是不是没加液氮的问题，我的机子也碰过这样的问题，一直都加了液氮，但如果机子里的液氮没有了，可能会导致掉真空。加了液氮后，真空能很快抽上去的。
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胖胖熊
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2014/5/12 17:24:21 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品室密封圈是不是老化了
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