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主题：【求助】XRF和XPS在定量测量涂层成分时哪个更准确？

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ccamm
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发表于：2011/04/12 17:11:16 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
    前段时间用XRF测过三个涂层试样的化学成分，主要是Ti、C、N、O，涂层厚10μm。
    但其中一个试样本应该有N元素的却没有测出来。想用别的方法再测一次。不知道XPS能不能测的出来？
    不知道一般情况下，会不会用XPS定量的测化学成分？和XRF相比，结果准确度高吗？
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2011/4/13 11:10:14 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
XPS可以测得.XPS的测量限可以达到千分之一以下。20020722920@sina.com
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xyh
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2011/4/15 13:49:39 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
XRF很准确
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goldenweek
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2011/4/27 14:50:45 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
理论上如果XRF有你的样品的标准样品的话，它会准很多，毕竟是波谱的东西。但你的涂层太薄会打到基体。XRF对轻元素灵敏度会差点，O的含量一般是归一化的结果，好像是XRF测试是设置金属模式或氧化物模式的。
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