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主题：在硅片上电泳沉积的碳纳米管薄膜，做sem之前要怎么清洗？

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junjun8xuhao
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发表于：2011/05/04 16:49:12 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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沉积完后的薄膜跟基底结合力不是很好，用手用力刮一下就会下来，但致密度、均匀度都挺好的，所以我猜想是不是别人做得碳纳米管薄膜也是这样的？

一般做sem前样品都要超声清洗的，但这类沉积薄膜一超声就从基底上脱落了。想问一下拿去做sem之前把样品薄膜在酒精里泡一会儿算不算清洗？
推荐答案：asahi42回复于2011/05/04
最好不要浸酒精...您把样品往酒精里一泡，如果不在烘箱里烘个半天，进电镜很容易产生电子束污染。一般而言，碳纳米管沉积好了以后，用洗耳球吹吹，直接进电镜看就可以了，电子束的作用力一般还不会把碳管从基底上打下来。如果担心导电性能不好，在样品上横跨一条导电胶带试试。
补充答案：

小M回复于2011/05/05

薄膜这种脆弱的东西，就不用超声波清洗了，直接粘导电胶进电镜吧

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2011/5/4 17:04:17 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最好不要浸酒精...您把样品往酒精里一泡，如果不在烘箱里烘个半天，进电镜很容易产生电子束污染。一般而言，碳纳米管沉积好了以后，用洗耳球吹吹，直接进电镜看就可以了，电子束的作用力一般还不会把碳管从基底上打下来。如果担心导电性能不好，在样品上横跨一条导电胶带试试。
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2011/5/4 17:05:12 Last edit by asahi42
junjun8xuhao
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2011/5/4 22:23:20 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我不是担心电子束把碳管打下来，是我们这的电镜老师说这个黑乎乎的东西会弄脏镜头的，一定要我清洗。
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小M
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2011/5/5 17:41:34 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
薄膜这种脆弱的东西，就不用超声波清洗了，直接粘导电胶进电镜吧
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小M
mitchell_dyzy
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2011/5/5 17:43:05 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 junjun8xuhao(junjun8xuhao) 发表:
我不是担心电子束把碳管打下来，是我们这的电镜老师说这个黑乎乎的东西会弄脏镜头的，一定要我清洗。


粘牢了，用氮气吹一吹，足够了吧
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aniangel
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2011/5/14 16:28:53 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
太高深了啊
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