主题:【讨论】CARL ZEISS EVO的灯丝crossover像是如何形成的?

浏览0 回复46 电梯直达
iangie
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原文由 驰奔(srd2009) 发表:
楼主的问题把JEOLzxj给惊动了:),迷思难解啊,其实驰奔也想弄明白!jeolzxj是正确的。而且确实,相比较没有该配置的电镜而言,在调节机械对中的时候显得方便,非常直观的方式来迅速调节对中,配合波形观察模式,容易找到最佳饱和点,而且更精确!
以下查了一个资料中描述分享一下:emission pattern can be readily observed in a TEM, and some SEMs are also equipped with scanning coils in the gun which permit a very similar visualization of the emission pattern. We provide this kind of "source imaging" feature on our Personal SEMTM and it is my preferred way to optimize the gun. Calling this kind of optimization "saturation" is a reasonably apt way to describe how the emission pattern seems to collapse into a dense spot. You can also accomplish a rather equivalent kind of optimization on a SEM which does not have this source imaging feature by maximizing the beam current under high magnification conditions (typically done by observing the waveform signal). So ideally when microscopists are talking about saturation, they are visualizing this kind of optimization procedure.







欢迎奔驰归来, 这组图片很直观. 多谢.
但是没有回答这帖子的问题: 灯丝像的对比度是如何形成的. Gun Coil扫描objective aperture时, 是什么造成上图Figure4的中间比边缘的SE信号更强(图片更亮)? 在我看来, 不管是通过中间还是通过边缘的电子都是同样的打到样品上, 为什么产生的SE信号有强有弱呢?

p.s. 调饱和的过程我很清楚.
jeolzxj
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欢迎奔驰归来, 这组图片很直观. 多谢.
但是没有回答这帖子的问题: 灯丝像的对比度是如何形成的. Gun Coil扫描objective aperture时, 是什么造成上图Figure4的中间比边缘的SE信号更强(图片更亮)? 在我看来, 不管是通过中间还是通过边缘的电子都是同样的打到样品上, 为什么产生的SE信号有强有弱呢?

p.s. 调饱和的过程我很清楚.

“灯丝像的对比度是如何形成的”我不太明白这句话的意思。Gun Coil扫描光阑的时候,一部分电子透过光阑,到达样品产生信号,形成亮区,而光阑孔边缘外面的区域,电子不能通过,无信号,自然就呈暗区。
iangie
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原文由 jeolzxj(jeolzxj) 发表:
"灯丝像的对比度是如何形成的”我不太明白这句话的意思。Gun Coil扫描光阑的时候,一部分电子透过光阑,到达样品产生信号,形成亮区,而光阑孔边缘外面的区域,电子不能通过,无信号,自然就呈暗区。

对, 这分别是光阑内和光阑外的情况. 但是光阑内的像也是强度空间分布的, 靠近中心"灯丝tip"的地方最亮, 光阑内边缘却较暗. "灯丝像的对比度"就是指的这个.
jeolzxj
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原文由 iangie(iangie) 发表:
原文由 jeolzxj(jeolzxj) 发表:
"灯丝像的对比度是如何形成的”我不太明白这句话的意思。Gun Coil扫描光阑的时候,一部分电子透过光阑,到达样品产生信号,形成亮区,而光阑孔边缘外面的区域,电子不能通过,无信号,自然就呈暗区。

对, 这分别是光阑内和光阑外的情况. 但是光阑内的像也是强度空间分布的, 靠近中心"灯丝tip"的地方最亮, 光阑内边缘却较暗. "灯丝像的对比度"就是指的这个.


你把你说的现象图片发上来大家看看。一般情况下,场发射电镜聚光镜电压调节正确的话,crossover都是一个亮斑,我只见到过钨灯丝不饱和的情况有你说的现象。
iangie
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原文由 jeolzxj(jeolzxj) 发表:
你把你说的现象图片发上来大家看看。一般情况下,场发射电镜聚光镜电压调节正确的话,crossover都是一个亮斑,我只见到过钨灯丝不饱和的情况有你说的现象。


图中红圈表示物镜光阑, 老师你说了光阑内(O点)和光阑外(B点)的区别.
我想问的是光阑内(O点)与(A点)的区别. 为什么一个亮一个暗?

根据SEM成像原理, xy坐标来源于扫描线圈(目前是Gun coil)的电流, contrast来源于SE detector的二次电子强度. 所以,我的问题是gun coil扫描到O点和A点的时候,为什么SE detector读出的二次电子强度不同? 通过O点和A点的电子都是在光阑内, 完全打在样品上的.
jeolzxj
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我想可能是这样的:电子束是有一定直径的,在扫描到光阑边缘时,有部分会被挡住,一部分下去,相对于中间部分信号就会弱些。
iangie
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原文由 jeolzxj(jeolzxj) 发表:
我想可能是这样的:电子束是有一定直径的,在扫描到光阑边缘时,有部分会被挡住,一部分下去,相对于中间部分信号就会弱些。


电子束直径应该远小于光阑直径.
我原来的想法是这样的: 当Gun coil 扫描到"正确的位置O点"的时候, W灯丝发射电子束的yield最高, 所以将这个"正确的位置"叫做"针尖tip". 当Gun coil扫描到不正确的位置如A点的时候, 从W灯丝extract出来的电子束yield较低, 所以信号强度随电子束流减小.
jeolzxj
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电子束的产额是不会随扫描的变化而变化的,如果变化的话,热场的emission current岂不就不稳定。
驰奔
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原文由 iangie(iangie) 发表:
原文由 jeolzxj(jeolzxj) 发表:
我想可能是这样的:电子束是有一定直径的,在扫描到光阑边缘时,有部分会被挡住,一部分下去,相对于中间部分信号就会弱些。


电子束直径应该远小于光阑直径.
我原来的想法是这样的: 当Gun coil 扫描到"正确的位置O点"的时候, W灯丝发射电子束的yield最高, 所以将这个"正确的位置"叫做"针尖tip". 当Gun coil扫描到不正确的位置如A点的时候, 从W灯丝extract出来的电子束yield较低, 所以信号强度随电子束流减小.


我来补充一下:
电子束直径应该远小于光阑直径?  应该考虑哪个截面的直径,在光阑处电子束的直径应该大于光阑直径,按照正常扫描,最终束斑电流保持恒定。如果是gun coil,那就是jeolzxj说的,在不同的像素处,光阑遮挡电子束中的部分电子,从而最终探针电流不同,造成sourse image反差不同。
iangie
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原文由 驰奔(srd2009) 发表:
我来补充一下:
电子束直径应该远小于光阑直径?  应该考虑哪个截面的直径,在光阑处电子束的直径应该大于光阑直径,按照正常扫描,最终束斑电流保持恒定。如果是gun coil,那就是jeolzxj说的,在不同的像素处,光阑遮挡电子束中的部分电子,从而最终探针电流不同,造成sourse image反差不同。


如果灯丝像的对比度仅仅是因为光阑阻挡的话,下面这张图就无法解释了:

中间的图像也是有明有暗.
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