好久没来了,看见大家在讨论S3400,也说一下我的看法.
我们公司在2005.7有替一家客户装过,我的一位同事装的,我只是学习阶段.
与S3000相比,S3400有些改善,采用了TMP,可以加装WDS,其GUI界面与S4800相似,而且还可以添加S.E.C,个人感觉是Hi-SEM到FE-SEM的过渡性产物.
采用的是quadrant偏压模式,因此在3KV,5KV时对应的Emission Current也比较高,可以得到比较清晰的影像,标称的解析度高真空30KV时为3nm,3KV时为10nm,6pa时的N-SEM30KV为4nm.
采用的BSE detector是quadrant +1(到目前还不明白什么意思)型半导体侦测器,它直接安装在chamber中,紧贴OBJ. LENS,不需要拉出来放进去,相应的W.D.可以减小,对应的解析度也很高.而且N-SEM模式下可以用TV模式.
在做分析时要求的W.D.=10mm,此时对应的最小放大倍率可以到27倍,观察的视野更广阔.而且可以观察80mm高度的样品.
添加了些的Auto功能,如auto beam setting,auto axial aligment.其实它的特点还有很多了,我目前也在学习中,等有了新的体会,再和大家交流.
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