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主题：铝氧化膜厚度的测量

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happydfli
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发表于：2006/02/22 16:07:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问谁知道正常氧化条件下铝的氧化膜厚度的测量方法，估计在10nm以下。
听说用辉光光谱可以测，上海哪里有这个仪器呢？

另外ESCA 化学分析电子光谱也能测，谁知道具体信息。

还有人说XPS也能测，谁知道？
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2006/6/10 22:06:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
10nm以下的膜可以用XPS的变角度法测定；
铝基氧化膜可以用辉光测定的；
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bszhy
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2006/6/10 22:08:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我去年做过这样的实验，XPS和辉光的结果相互验证了。
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xichuan5201
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2007/4/3 15:18:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以采用塑料热镶嵌的方法，然后通过磨制试样看金相的方法。
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v2718593
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2013/6/9 9:24:41 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
XRF荧光测定就好了、、、、、
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